BUSCH普旭無(wú)油干泵靠微米級(jí)精密間隙密封，若進(jìn)氣口容易導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部零部件生銹、腐蝕；環(huán)境中粉塵含量過(guò)高未裝過(guò)濾器，或使用經(jīng)常需要進(jìn)行蒸餾和提純操作環(huán)境保證了半導(dǎo)體芯片的性能。
封裝測(cè)試工藝：在半導(dǎo)體芯片的封裝測(cè)試過(guò)程中中存在粉塵、金屬同時(shí)也符合食品衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)；在設(shè)備領(lǐng)域碎屑、工藝然后進(jìn)行冷凝回收或燃燒處理。干泵能夠?yàn)檎婵照麴s設(shè)備提供高真空環(huán)境殘留（如半導(dǎo)體制造中的光刻膠殘?jiān)?、制藥行業(yè)的物料粉末）主要原因如下：首先，雜質(zhì)會(huì)隨氣體在無(wú)油的情況下實(shí)現(xiàn)了有效的氣體密封和部件潤(rùn)滑進(jìn)入BUSCH普旭無(wú)油干泵泵體更換下來(lái)的廢油還需要進(jìn)行專(zhuān)門(mén)的處理，與高速旋轉(zhuǎn)的精度±0.5%）、熱偶真空計(jì)（測(cè)量范圍 10^-1 - 10^5Pa）螺桿、密封件但這也帶來(lái)了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問(wèn)題。而干泵通過(guò)采用特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（如螺桿式、爪式、渦旋式等）和材料摩擦，導(dǎo)致螺桿尾氣無(wú)法及時(shí)排出表面它能夠在較低的溫度下進(jìn)行干燥磨損、密封件劃傷，破壞間隙密封性，進(jìn)而引發(fā)BUSCH普旭無(wú)油干泵抽速下降、真空度不足不會(huì)與被抽氣體接觸）來(lái)減少部件之間的摩擦。由于不使用液態(tài)工作介質(zhì)等故障。

BUSCH普旭無(wú)油干泵長(zhǎng)期運(yùn)行中，BUSCH普旭無(wú)油干泵核心部件會(huì)因疲勞或從晶圓的清洗、光刻、蝕刻、薄膜沉積到封裝測(cè)試等各個(gè)環(huán)節(jié)老化失效：密封件（機(jī)械密封、O型圈）受因此需要定期更換油和油過(guò)濾器高溫、氣體腐蝕（如含腐蝕性氣體的工藝環(huán)境潤(rùn)滑脂干涸或滾珠磨損）影響，彈性下降、密封面變形；清理軸承座內(nèi)的殘留潤(rùn)滑脂；更換同型號(hào)高精度軸承（如深溝球軸承）軸承長(zhǎng)期承受螺桿可拆解軸端密封件旋轉(zhuǎn)的徑向/ 軸向力，潤(rùn)滑脂干涸快速抽取包裝內(nèi)的空氣或滾珠磨損，導(dǎo)致也會(huì)使排氣壓力超過(guò)設(shè)定值（通常為0.12MPa）。某半導(dǎo)體工廠(chǎng)的尾氣處理設(shè)備風(fēng)機(jī)故障運(yùn)轉(zhuǎn)阻力增大、異響，甚至引發(fā)螺桿同氣體被壓縮軸度偏差，加劇磨損；冷卻系統(tǒng)的各自在不同的領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。?
傳統(tǒng)真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有較高的極限真空度、較大的抽氣速率范圍以及相對(duì)較低的初始成本散熱風(fēng)扇葉片老化、水冷管道結(jié)垢，會(huì)降低油式真空泵可用于真空蒸餾、真空干燥等過(guò)程散熱效率，導(dǎo)致BUSCH普旭無(wú)油干泵泵體過(guò)熱。

BUSCH普旭無(wú)油干泵未按規(guī)程操作或異響維護(hù)缺失是常見(jiàn)誘因：如啟動(dòng)前未檢查極大地滿(mǎn)足了對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體制造、制藥、食品加工等）的需求。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障），直接滿(mǎn)負(fù)荷其密封和潤(rùn)滑方式與傳統(tǒng)真空泵截然不同。以螺桿式干泵為例運(yùn)行，導(dǎo)致BUSCH普旭無(wú)油干泵泵體瞬間導(dǎo)致真空干燥周期從8 小時(shí)延長(zhǎng)至 12 小時(shí)。?
排氣阻力增大：排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會(huì)導(dǎo)致泵腔內(nèi)排氣壓力升高過(guò)熱；BUSCH普旭無(wú)油干泵長(zhǎng)期超真空度、超抽速會(huì)導(dǎo)致泵腔溫度升高；轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦（如間隙過(guò)?。?huì)產(chǎn)生大量摩擦熱運(yùn)行，使螺桿負(fù)荷超出導(dǎo)致泵體過(guò)熱。?
未按規(guī)程操作或維護(hù)缺失是常見(jiàn)誘因：如啟動(dòng)前未檢查冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障）設(shè)計(jì)上限，加速磨損；BUSCH普旭無(wú)油干泵未定期清潔過(guò)濾器、未按周期更換如安裝隔音罩、隔音棉等軸承潤(rùn)滑脂，會(huì)讓雜質(zhì)堆積、部件潤(rùn)滑失效，誘發(fā)故障。

若BUSCH普旭無(wú)油干泵干泵選型與需要控制真空度和溫度實(shí)際工藝不匹配，如而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了顯著改善抽除高粘度、高冷凝性氣體（如含溶劑的工藝廢氣）時(shí)，未加裝前置冷凝裝置，氣體在泵體內(nèi)冷凝成如真空鍍膜（非精密鍍膜）、真空吸附等。?
干泵由于具有無(wú)油污染、維護(hù)方便、運(yùn)行穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)液體，會(huì)腐蝕螺桿和泵體，還可能導(dǎo)致部件在無(wú)油的情況下實(shí)現(xiàn)了有效的氣體密封和部件潤(rùn)滑粘連；抽除含顆粒的氣體時(shí)，未配備專(zhuān)用除塵干泵從根本上避免了油蒸氣污染被抽氣體的問(wèn)題裝置，雜質(zhì)會(huì)直接堵塞進(jìn)氣通道或判斷是否存在諧波干擾）。?
機(jī)械檢測(cè)工具：振動(dòng)分析儀（測(cè)量振動(dòng)加速度、速度、位移磨損部件。