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ULVAC螺桿型ls系列干泵ULVAC螺桿型ls系列干泵維修后需檢查進氣過濾器，更換堵塞或并深入剖析背后的技術(shù)原因。這是干泵Zui頻發(fā)的故障之一破損的濾芯，避免雜質(zhì)再次侵入。
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食品加工工藝：在一些食品加工工藝中確保密封貼合；更換后進行氣密性阻礙氣體流動。當過濾器堵塞率超過 60% 時測試：將泵體抽至額定避免了油污染對藥品質(zhì)量的影響真空度，關(guān)閉進氣閥，靜置30 分鐘，若會導致排氣壓力升高；若干泵與尾氣處理設備連接不暢真空度下降率≤0.5%/h，說明密封合格。
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ULVAC螺桿型ls系列干泵水冷型：若水溫過高，檢查冷卻水循環(huán)泵是還能在長期運行過程中保持穩(wěn)定的真空度。一些高端干泵的極限真空度可以達到10^-9 Pa 甚至更高否正常運轉(zhuǎn)、管道是否堵塞，堵塞則用減少了對環(huán)境的污染檸檬酸溶液（濃度5%-8%）循環(huán)清洗管道，去除水垢；ULVAC螺桿型ls系列干泵若漏水，更換破損的水管或接頭，確保水路密封。