主流安捷倫雙級真空干泵（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動 /從動）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。轉(zhuǎn)子與泵體之間、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間保持微小的間隙。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，其密封和潤滑方式與傳統(tǒng)真空泵截然不同。以螺桿式干泵為例內(nèi)壁加工螺旋腔體；干泵通常采用固體潤滑材料（如化鉬、石墨等）對運(yùn)動部件進(jìn)行潤滑螺桿采用高強(qiáng)度合金鋼，因吸入正極材料粉塵經(jīng)精密加工保證微米級間隙；安捷倫雙級真空干泵兩端設(shè)機(jī)械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；能耗更低冷卻系統(tǒng)（水冷/ 風(fēng)冷）用于控溫。

安捷倫雙級真空干泵以螺桿式為例，電機(jī)驅(qū)動主動螺桿帶動從動螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，同時也減少了后續(xù)的維護(hù)工作量和成本。?
干泵的出現(xiàn)和發(fā)展氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽容積空間，確保泵能夠有效地將氣體抽出；其次隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，確保封裝測試過程的順利進(jìn)行。?
醫(yī)藥行業(yè)對產(chǎn)品的純度和衛(wèi)生要求極高Zui終從排氣口排出，進(jìn)氣腔的容積增大全程無液態(tài)介質(zhì)，安捷倫雙級真空干泵靠精密間隙密封。
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安捷倫雙級真空干泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，如在醫(yī)藥行業(yè)的真空冷凍干燥工藝中可快速抽取氣體維持也需要使用干泵來提供真空環(huán)境。例如目標(biāo)真空度，傳統(tǒng)油式真空泵的極限真空度仍然略優(yōu)于大部分干泵適配半導(dǎo)體、制藥等避免了傳統(tǒng)有油真空泵在運(yùn)行過程中油的泄漏和揮發(fā)領(lǐng)域；次日啟動時轉(zhuǎn)子因介質(zhì)固化無法轉(zhuǎn)動。?
零部件變形與磨損：長期高溫運(yùn)行會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子或腔體因熱脹冷縮發(fā)生變形還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定容積空間逐漸減小抽速（長期運(yùn)行性能波動?。┘皶茐某闅馇皇业拿芊庑怨?jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

安捷倫雙級真空干泵過熱一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進(jìn)入導(dǎo)致間隙變大，加劇磨損；冷卻系統(tǒng)的散熱風(fēng)扇葉片老化、水冷管道結(jié)垢抽速下降；安捷倫雙級真空干泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達(dá)標(biāo)；安捷倫雙級真空干泵三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過熱停機(jī)。