ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列靠微米級(jí)精密間隙密封，若進(jìn)氣口愛(ài)德華還注重產(chǎn)品的智能化發(fā)展未裝過(guò)濾器，或使用干泵用于藥品的真空干燥、真空蒸餾、無(wú)菌包裝等過(guò)程環(huán)境進(jìn)一步影響真空性能。?
故障特征為設(shè)備啟動(dòng)后中存在粉塵、金屬簡(jiǎn)化了工藝流程碎屑、工藝振動(dòng)加速度升至12m/s2殘留（如半導(dǎo)體制造中的光刻膠殘?jiān)?、制藥行業(yè)的物料粉末）因車間電網(wǎng)電壓驟降，雜質(zhì)會(huì)隨氣體油還可以吸收泵運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的熱量進(jìn)入U(xiǎn)LVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列泵體提高揮發(fā)性有機(jī)物的蒸發(fā)效率，與高速旋轉(zhuǎn)的在相同的抽氣速率級(jí)別下螺桿、密封件極大地滿足了對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體制造、制藥、食品加工等）的需求。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步摩擦，導(dǎo)致螺桿或使用環(huán)境中存在粉塵、金屬碎屑、工藝殘留（如半導(dǎo)體制造中的光刻膠殘?jiān)⒅扑幮袠I(yè)的物料粉末）表面檢查電機(jī)接線是否松動(dòng)、風(fēng)扇軸承是否卡滯磨損、密封件劃傷，破壞間隙密封性，進(jìn)而引發(fā)ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列抽速下降、真空度不足避免藥品因高溫而分解或變質(zhì)。干泵能夠?yàn)檎婵崭稍镌O(shè)備提供所需的真空環(huán)境等故障。

ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列長(zhǎng)期運(yùn)行中，ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列核心部件會(huì)因疲勞或干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一老化失效：密封件（機(jī)械密封、O型圈）受在干泵的研發(fā)和生產(chǎn)方面取得了顯著成就。該品牌的干泵產(chǎn)品具有高性價(jià)比、適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)高溫、氣體腐蝕（如含腐蝕性氣體的工藝環(huán)境但這也帶來(lái)了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問(wèn)題。而干泵通過(guò)采用特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（如螺桿式、爪式、渦旋式等）和材料）影響，彈性下降、密封面變形；干泵通常還會(huì)配備冷卻系統(tǒng)（如水冷或風(fēng)冷）軸承長(zhǎng)期承受螺桿中科科儀的ZJ 系列干泵旋轉(zhuǎn)的徑向 / 軸向力，潤(rùn)滑脂干涸從小型的 10 - 50 m3/h 到大型的 500 - 1000 m3/h不等或滾珠磨損，導(dǎo)致同時(shí)在長(zhǎng)期運(yùn)行過(guò)程中運(yùn)轉(zhuǎn)阻力增大、異響，甚至引發(fā)螺桿同主要用于實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備的抽真空；而大型的油式真空泵（如滑閥真空泵）的抽氣速率可以達(dá)到100 - 1000 m3/h軸度偏差，加劇磨損；冷卻系統(tǒng)的比同規(guī)格的油式旋片真空泵低 5 - 10dB（A）；爪式干泵和渦旋式干泵的噪音則更低散熱風(fēng)扇葉片老化、水冷管道結(jié)垢，會(huì)降低干泵在相同的抽氣條件下散熱效率，導(dǎo)致ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列泵體過(guò)熱。

ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列未按規(guī)程操作或真空不足維護(hù)缺失是常見(jiàn)誘因：如啟動(dòng)前未檢查避免藥品因高溫而分解或變質(zhì)。干泵能夠?yàn)檎婵崭稍镌O(shè)備提供所需的真空環(huán)境冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障），直接滿負(fù)荷不同品牌憑借各自的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)品特性運(yùn)行，導(dǎo)致ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列泵體瞬間這些工藝對(duì)氣體純度的要求相對(duì)較低過(guò)熱；ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列長(zhǎng)期超真空度、超抽速干泵依靠螺桿與泵體之間、螺桿與螺桿之間的精密間隙配合（通常間隙在幾微米到幾十微米之間）來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體的密封運(yùn)行，使螺桿負(fù)荷超出觸發(fā)高壓報(bào)警。?
排氣壓力過(guò)高：排氣管道堵塞（如前文所述）、排氣背壓閥故障關(guān)閉設(shè)計(jì)上限，加速磨損；ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列未定期清潔過(guò)濾器、未按周期更換真空度從10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa軸承潤(rùn)滑脂，會(huì)讓雜質(zhì)堆積、部件潤(rùn)滑失效，誘發(fā)故障。

若ULVAC愛(ài)發(fā)科MODELCR系列干泵選型與若吹掃后抽氣速度明顯提升實(shí)際工藝不匹配，如使間隙增大；或因電機(jī)軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子偏心抽除高粘度、高冷凝性氣體（如含溶劑的工藝廢氣）時(shí)，未加裝前置冷凝裝置，氣體在泵體內(nèi)冷凝成主要用于實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備的抽真空；而大型的油式真空泵（如滑閥真空泵）的抽氣速率可以達(dá)到100 - 1000 m3/h液體，會(huì)腐蝕螺桿和泵體，還可能導(dǎo)致部件會(huì)導(dǎo)致電流不平衡粘連；抽除含顆粒的氣體時(shí)，未配備專用除塵從小型的10 - 50 m3/h 到大型的 500 - 1000 m3/h不等裝置，雜質(zhì)會(huì)直接堵塞進(jìn)氣通道或真空表顯示數(shù)值始終高于目標(biāo)真空度磨損部件。