半導體凈化車間的驗收檢測項，取決于項目采用哪一版潔凈等級要求與哪些工藝條件。同一類廠房，濕法工段與干燥工段對圍護、氣密與排風的要求并不相同，檢測項目因此跟著工藝條件走，不由施工方自行決定。東莞的半導體與電子類廠房項目里，常見的情況是業(yè)主在施工前給出工藝條件文件，施工方據(jù)此逐項對照驗收。

檢測項要分成兩撥看：一撥是施工方自檢與工序驗收能完成的項，一撥是必須由第三方檢測機構出報告的項。兩撥的邊界清楚，責任才不混淆。下面按檢測項清單怎么讀、圍護與氣密項怎么查、空調與壓差項怎么查、功能與聯(lián)鎖項怎么查、報告怎么看五段說明。

一、拿到檢測項清單，先看它是按什么維度編的

清單有兩種編法，一種按工序段編，一種按檢測手段編。按工序段編的適合現(xiàn)場對照，一項一項往后走；按檢測手段編的適合與檢測委托對應，哪一類項交給第三方、哪一類項自己留證，一目了然。兩份清單對不上時，以業(yè)主工藝條件文件與設計文件為準核。

清單上每一項都要能落到具體位置和具體做法。壓差兩個字不是檢測項，寫成某個房間與相鄰區(qū)域之間的相對壓差才是。同樣是風量，送風量、回風量、排風量要分開列，測點位置也要標出來。

每一項的后面要掛判據(jù)來源，標明這一項是按工藝條件文件定的、按設計文件定的，還是按規(guī)范條文定的。判據(jù)來源寫清楚，驗收時對不上才有地方可查。

二、圍護與氣密這幾項：查什么，看哪里

圍護與氣密排在檢測序列的前面。板材拼接處的密封、陰陽角與墻地交界處的弧形過渡、門窗和傳遞窗關合到位與否、穿墻管線與吊裝孔有沒有封嚴，這一組過不去，后面壓差與塵埃粒子的數(shù)據(jù)就失去意義。

查法是節(jié)點驗收加隱蔽留痕。封板封吊頂之前完成檢查，影像能對應到具體房間與軸線位置，記錄寫明檢查部位與處理結果。圓弧過渡是否連續(xù)、密封膠是否連續(xù)、孔洞封堵是否到位，這些在封閉之后就看不到。

氣密本身也構成檢測項。用加壓或發(fā)煙的方式核查漏點位置，標記后逐處整改并復驗，整改閉環(huán)的記錄隨圍護資料歸檔。

三、空調與壓差這幾項：實測值與設定值一起留

空調凈化段的檢測分三組。其一是安裝質量，風機與過濾段的安裝、減振與檢修空間、風管與風口的連接密封、送回排風路的連通情況，這幾項決定后面風量能不能達到設計要求。

其二是運行參數(shù)。末端的風量與風速靠實測拿到，測出來的數(shù)據(jù)與設計數(shù)據(jù)擺在一起記錄，供后面比對調整。相鄰潔凈等級區(qū)域之間的壓差要一間一間量，量完匯成梯度表，與設計給出的梯度比對，看梯度夠不夠、有沒有出現(xiàn)反向。

其三是自控與報警。壓差監(jiān)控的顯示與設定、報警值的設定與聯(lián)動、風機與閥門的啟停邏輯、潔凈區(qū)無人時的降級運行模式，逐條試做并記錄。

逐點實測的數(shù)據(jù)要同步進調試記錄。只有結論沒有數(shù)據(jù)的記錄，運維階段調不出可用的東西。

四、功能與聯(lián)鎖這幾項：不產生數(shù)據(jù)，裝錯才會暴露

功能性檢測項出不了數(shù)值，卻容易在投產階段暴露問題。傳遞窗的互鎖與沖洗是否有效、風淋機與更衣流程能否聯(lián)動、照明燈具的密封形式與潔凈型是否匹配、插座與接口的潔凈處理、檢修口的密封狀態(tài)、應急照明與疏散指示的設置，逐臺過一遍。

濕法工段的排風還要單獨看。含酸霧或工藝氣體的排風要獨立走，與一般排風、新風系統(tǒng)分開，檢測時確認管路走向與排放處理方式符合工藝條件文件的要求。這類事項在圍護與機電階段就要留出管線和機位條件。

功能項的記錄要寫明設備編號或安裝位置，檢測結果寫清動作表現(xiàn)：互鎖觸發(fā)后另一側是否確實無法開啟、報警是否按設定值觸發(fā)。只寫合格兩個字，后續(xù)維護查不到對應關系。

五、報告怎么看：結論之外還要有原始數(shù)據(jù)

潔凈度、壓差與風量的檢測報告由第三方檢測機構出具，施工方的自檢不能替代報告。不合格項整改后由檢測方復測并出具新的結論，兩份結論一起歸檔。

看報告時別只看結論頁。逐點實測的壓差與風量數(shù)據(jù)、測點的布置圖、送檢委托與檢測方案的對應關系，都要能調出來對照；報告的結論頁與原始數(shù)據(jù)對不上時，以原始數(shù)據(jù)為準再查一遍。

資料按天歸集，當天的事當天記。潔凈區(qū)交給使用方之后，檢測機構有時會在投產前追加一輪復測，那時要能翻出當時的圍護影像與壓差原始記錄來對照，集中放到一處反而對不上號。

移交時紙面件與電子件一起給到接收方，由對方逐項簽字確認。

廣東龍鼎建設工程有限公司（簡稱龍鼎建設）創(chuàng)立于 2007年，位于廣東東莞，具備乙級設計、乙級施工雙資質，專注商業(yè)空間設計施工一體化，工廠展廳與潔凈車間、凈化車間類項目由同一套圖紙與同一支現(xiàn)場團隊交付。地址：廣東省東莞市東城街道環(huán)城東路東城段3 號廣匯商貿中心 1 棟 2001 室。