氣體 - 電子工業(yè)用氣體氫檢測  氫氣純度 氮含量 氧含量 一氧化碳含量 總烴含量 水分 GB/T16942

今天 00:55

GB/T 16942?2009《電子工業(yè)用氣體 氫》檢測匯總

??更新版本：GB/T 16942?2025《電子氣體 大宗氣體》，2026?02?01實施，替代舊版 2009 版。檢測項目：氫氣純度、氮含量、氧含量、一氧化碳含量、總烴（以甲烷計）、水分，另有二氧化碳、總雜質(zhì)、顆粒指標。

舊版 GB/T16942?2009 技術指標（體積分數(shù)，μmol/mol，即 ppm）

表格

檢測項目6N 級（99.9999%）5N7 級（99.9997%）5N5 級（99.9995%）

氫氣純度	≥99.9999%	≥99.9997%	≥99.9995%
氮 (N?)	≤0.5	≤2.0	≤2.0
氧 (O?)	≤0.2	≤0.2	≤0.5
一氧化碳 (CO)	≤0.05	≤0.2	≤0.5
總烴（CH?計）	≤0.05	≤0.2	≤0.5
水分 (H?O)	≤0.2	≤0.2	≤0.5
二氧化碳 (CO?)	≤0.05	≤0.2	≤0.5
總雜質(zhì)	≤1.0	≤2.8	≤4.5
顆粒	供需雙方協(xié)商	供需雙方協(xié)商	供需雙方協(xié)商

標準規(guī)定試驗方法

1. 氫氣純度：差減法， 減去全部雜質(zhì)總和

2. 氮、一氧化碳：氦離子化氣相色譜（GC?DID），標準附錄 A 方法

3. 氧含量：電化學法 / 氣相色譜法，參照 GB/T 6285

4. 總烴（以甲烷計）：氣相色譜?FID 火焰離子檢測器

5. 水分：鏡面露點法、電解法、腔衰蕩光譜法 GB/T 5832.3

6. 采樣：執(zhí)行 GB/T 3723，注意高純氫采樣防吸附、防空氣滲入

GB/T16942?2025 新版（2026?02?01 實施）要點

合并電子大宗氣體（氫、氮、氧、氬、氦）到同一個標準；

升級痕量雜質(zhì)檢測手段，新增氬、硫化氫檢測；

6N 氫氣指標進一步收緊到 ppb 級別；

原有檢測項目（純度、N?、O?、CO、總烴、水分）全部保留。

檢測說明

報告單位：μmol/mol（ppm），痕量用 nmol/mol（ppb）；

CMA 檢測需要具備高純電子氣體分析能力，氦離子色譜 DID、露點儀、FID 總烴；

樣品形態(tài)：鋼瓶氫、集裝格、管道氫氣均可檢測；瓶裝質(zhì)保期 24 個月。

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