氣體-電子工業(yè)用氣體氫 GB/T16942-免費(fèi)觀看又色又爽又黃的崩鍋-和鄰居交換做爰過程メイリン モデルコレクション メイ
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氣體 - 電子工業(yè)用氣體氫 GB/T16942
??標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：已被GB/T 16942?2025《電子氣體 大宗氣體》替代，2026?02?01 實(shí)施
舊版：GB/T16942?1997 → GB/T?05?01 實(shí)施）
適用：經(jīng)凈化制取，瓶裝、集裝格、管道輸送電子級氫氣；用于半導(dǎo)體還原氣氛、外延載氣、等離子配氣原料
質(zhì)量保證期：24個月（氣瓶完好、未開啟）
表格
項(xiàng)目6N 級≥99.9999%5.7N 級≥99.9997%5.5N 級≥99.9995%H?純度（%）≥99.9999≥99.9997≥99.9995N?，ppm＜0.5＜2.0＜2.0O?，ppm＜0.2＜0.2＜0.5CO，ppm＜0.05＜0.2＜0.5CO?，ppm＜0.05＜0.5＜0.5總烴（CH?計(jì)），ppm＜0.05＜0.2＜0.5H?O，ppm＜0.2＜0.2＜0.5總雜質(zhì)，ppm≤1.0≤2.8≤4.5顆粒供需雙方商定供需雙方商定供需雙方商定注：表中數(shù)值為大允許雜質(zhì)含量
N?、O?、CO、CO?、總烴：氦離子化氣相色譜；GB/T 8984
水分：露點(diǎn)法 / 光腔衰蕩
純度：差減法， 減去全部雜質(zhì)總和
采樣：GB/T3723 工業(yè)化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則
氣瓶：GB5099 鋼質(zhì)無縫氣瓶，氣瓶顏色標(biāo)志 GB7144；充裝執(zhí)行 GB14194 氣體氣瓶充裝規(guī)定
安全執(zhí)行：GB4962氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程，氫氣易燃易爆，管路、閥門嚴(yán)禁油污。
合并 5 份舊電子大宗氣體標(biāo)準(zhǔn)（H?/N?/O?/Ar/He）統(tǒng)一為一份《電子氣體 大宗氣體》；不再單獨(dú)存在“電子工業(yè)用氣體氫” 獨(dú)立標(biāo)準(zhǔn)；氫、氮、氧、氬、氦統(tǒng)一在本標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)分表給出指標(biāo)。
檢測提示：半導(dǎo)體廠現(xiàn)在新項(xiàng)目優(yōu)先執(zhí)行 GB/T16942?2025；存量老合同可繼續(xù)沿用?2009。
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