磁過濾電弧離子鍍
陰極弧重要的問題就是“大顆粒”污染問題。大顆粒來自于陰極弧斑在靶材表面隨機漂移、燃燒時不斷產(chǎn)生的中性粒子團簇，這些中性粒子團簇與等離子體一起噴發(fā)出來，飛落到正在沉積生長的膜層表面造成表面顆粒污染。這些大顆粒直徑在0.1~100μm之間，許多大顆粒尺寸都超過了膜層本身的厚度。
因此誕生了磁過濾方法，磁過濾是通過磁場控制帶電離子進行偏轉(zhuǎn)，只允許一定荷質(zhì)比的粒子通過彎管，其余粒子會因為撞擊到管壁上停下來，從而達到過濾效果。
純源公司的PIC源，即純離子源，便是利用磁過濾原理，使我們允許的C離子到達腔室，其余雜質(zhì)剔除，實現(xiàn)優(yōu)的鍍膜效果。
更新時間
安徽純源鍍膜科技有限公司已認證
- 黃金會員
- 第3年
- 統(tǒng)一社會信用代碼
- 91340100394452746Q
- 成立日期
- 2014年10月23日
- 法定代表人
- 張心鳳
- 注冊資本
- 800
主營產(chǎn)品
真空鍍膜設備，PVD鍍膜加工，類金剛石涂層加工，磁控濺射鍍膜機，純離子鍍膜設備
經(jīng)營范圍
納米薄膜、機電一體化、機電設備、材料科學設備及技術研發(fā)、設計、安裝、維修、服務及銷售。（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動）
公司簡介
安徽純源鍍膜科技有限公司是由新加坡歸國創(chuàng)業(yè)團隊于2014年創(chuàng)立的高科技公司，坐落于合肥市高新區(qū)習友路3789號。主要從事真空納米、微米級高端鍍膜裝備的設計、研發(fā)和制造；并提供多種功能膜層的工藝開發(fā)和鍍膜加工服務。公司目前擁有設計、研發(fā)、工藝、市場和生產(chǎn)等各方面的人才。在陰極?。–athode Arc）、磁控濺射(Sputter)、電子束蒸發(fā)(E-beam Evaporation)、離子束刻蝕清洗(IBE)、化學氣相沉積（CVD）等領域都...