熱噴涂氧化釔涂層解決方案|氧化釔噴粉供應(yīng)商-日本少婦無碼一區(qū)視頻,《扒開老師濕漉漉的黑森林乳》
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- 品牌
- 氧化釔稀土
- 型號
- 高純度氧化釔
- 產(chǎn)地
- 國產(chǎn)和進(jìn)口
【產(chǎn)品概述】
聚焦環(huán)(FocusRing)與襯底支架位于晶圓邊緣,用于調(diào)節(jié)等離子體密度分布并固定晶圓。由于處于等離子體鞘層邊緣,其承受的離子轟擊尤為劇烈。我司采用熱噴涂氧化釔涂層技術(shù),為這些關(guān)鍵部件提供定制化防護(hù)。
【核心技術(shù)優(yōu)勢】
定制化電學(xué)性能:通過調(diào)整涂層配方與厚度,可控制聚焦環(huán)的電導(dǎo)率,使其與硅晶圓匹配,優(yōu)化邊緣刻蝕均勻性。
高耐刻蝕速率:氧化釔涂層的刻蝕速率遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)碳化硅或石英材料,顯著延長部件更換周期,降低耗材成本。
抗熱應(yīng)力剝落:針對聚焦環(huán)的熱膨脹系數(shù)進(jìn)行涂層匹配設(shè)計,確保在高溫等離子體環(huán)境下涂層不脫落、不開裂。
【應(yīng)用場景】
刻蝕機(jī)聚焦環(huán)、襯底支架、靜電卡盤外圍支撐環(huán)。
【技術(shù)參數(shù)參考】
涂層材料:氧化釔(Y?O?)/ YAG復(fù)合材料
電導(dǎo)率:可調(diào)(絕緣至半導(dǎo)體級)
涂層結(jié)合力:≥ 30 MPa
尺寸精度:涂層后精密研磨,公差 ±0.01mm
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昆山照動貿(mào)易有限責(zé)任公司是經(jīng)營進(jìn)出口貿(mào)易的貿(mào)易公司,開展國內(nèi)外貿(mào)易,合作生產(chǎn),轉(zhuǎn)口貿(mào)易等方式的經(jīng)營業(yè)務(wù),成立于2012年3月。目前是日本B&PLUS公司在中國區(qū)的一級代理商,主要經(jīng)營denka代理商,denka碳黑,氧化釔,稀土氧化釔噴粉,半導(dǎo)體氧化釔稀土,氧化釔噴粉,高純氧化釔,等離子氧化釔噴涂,DENKA球形氧化鋁,氧化釔陶瓷粉,半導(dǎo)體氧化釔粉,熱噴涂氧化釔粉,高純氧化釔粉末,氧化釔噴涂粉體,等離子噴涂氧化釔陶瓷粉,超音速噴涂氧化釔...