氧化釔|氣體分布板與噴淋頭|熱噴涂氧化釔耐蝕涂層-XFPLAY內射無碼|五十六十老熟婦激情A片メイリン モデルコレクション メイ
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- 品牌
- 氧化釔稀土
- 型號
- 高純度氧化釔
- 產地
- 國產和進口
【產品概述】
氣體分布板（Showerhead）與噴淋頭負責將工藝氣體均勻導入反應腔，其微孔結構與下表面直接暴露于高密度等離子體中，極易因腐蝕導致孔徑變大、氣流分布不均，進而影響刻蝕均勻性。我司提供的氣體分布板氧化釔涂層方案，有效解決這一痛點。
【核心技術優(yōu)勢】
微孔精密防護：熱噴涂工藝可精準控制涂層厚度，在保護孔壁的同時確保氣孔不堵塞，維持氣體流場的均勻性。
抗化學與物理雙重侵蝕：氧化釔涂層同時抵御活性自由基的化學腐蝕與高能離子的物理濺射，保持孔徑尺寸長期穩(wěn)定。
低副產物沉積：光滑致密的涂層表面減少了刻蝕副產物的粘附，降低了清洗頻率，提升了設備稼動率。
【應用場景】
刻蝕機、CVD設備的氣體分布板、噴淋頭、氣體注入器。
【技術參數參考】
涂層材料：高純氧化釔（Y?O?）
涂層均勻性：厚度偏差 < ±5%
耐溫性能：適應頻繁熱循環(huán)（室溫至400℃+）
顆?？刂疲簼M足先進制程（14nm及以下）要求
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