PIS622超級(jí)類金剛石鍍膜(Ta-C)設(shè)備:主要提供超硬、耐磨損、摩擦系數(shù)小、耐腐蝕、防刮花的優(yōu)質(zhì)類金剛石Ta-C膜層。設(shè)備采用國(guó)內(nèi)獨(dú)有的純離子鍍膜源專利技術(shù)，具有電磁過(guò)濾系統(tǒng)和高頻電磁掃描系統(tǒng)兩大創(chuàng)新，全自動(dòng)模塊化設(shè)計(jì)。電磁過(guò)濾系統(tǒng)可以過(guò)濾掉中性粒子、原子團(tuán)等雜質(zhì)，提高了離化率，使膜層更加致密，硬度更高，耐磨性顯著提高。

根據(jù)市場(chǎng)需求公司研制出：輔助陽(yáng)極、磁過(guò)濾、矩形平面靶、圓柱旋轉(zhuǎn)電弧靶等衍生產(chǎn)品。沉積的膜層精度達(dá)到了納米量級(jí)，是制備高硬度、高結(jié)合力、高耐磨性Ta-C、DLC等高質(zhì)量膜層的shouxuan。

本設(shè)備為交鑰匙設(shè)備，純?cè)垂咎峁┱捉鉀Q方案，包括穩(wěn)定成熟鍍膜配方，設(shè)備交接后即可投產(chǎn)。

主要特點(diǎn)：

　　1、傳動(dòng)裝置的冷卻方式為水冷式：設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)緊湊、系列間通用、互換性強(qiáng)；水冷式機(jī)座，散熱效果佳；腔體外部滾動(dòng)軸承及傳動(dòng)齒輪可加潤(rùn)滑油運(yùn)行，使用壽命增長(zhǎng)3-5倍。

　　2、旋轉(zhuǎn)裝置為行星旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可根據(jù)鍍膜工藝不同設(shè)計(jì)為：變頻調(diào)速，公轉(zhuǎn)式、公自轉(zhuǎn)結(jié)合式。

　　3、采用氣動(dòng)門鉸，自動(dòng)鎖門，減少操作程序，增強(qiáng)真空門整體的密閉性及減少對(duì)橡膠密封圈的破壞性。

　　4、真空容器設(shè)計(jì)為新型結(jié)構(gòu)，用戶可據(jù)自己的需求，可升級(jí)為多功能鍍膜設(shè)備。

　　5、多弧離子部份采用先進(jìn)鍍膜工藝技術(shù),即可鍍制裝飾膜,也能鍍制功能膜,數(shù)道工藝，一次完成，極為先進(jìn)科學(xué)。

    6、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)邏輯全自動(dòng)控制。

    7、報(bào)警及保護(hù)：異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

膜層致密，粘附性好；膜層均勻性可調(diào)；

高穩(wěn)定性；高功率；均勻性好；優(yōu)化磁場(chǎng)設(shè)計(jì)；維護(hù)方便；有效水冷設(shè)計(jì)，靶材可以連續(xù)24小時(shí)工作。

1）腔體接口通用尺寸，互換性強(qiáng)，優(yōu)化升級(jí)方便；

2）專利磁場(chǎng)設(shè)計(jì)+專利布?xì)夥绞剑瑯O大地提高了有效鍍膜空間和膜層均勻性；

3）實(shí)時(shí)記錄歷史數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)曲線，對(duì)品質(zhì)管理管控和工藝開(kāi)發(fā)有明顯幫助。強(qiáng)大的軟件功能，友好的人機(jī)界面，實(shí)時(shí)記錄工藝數(shù)據(jù)，利于質(zhì)量管控、疑難分析、開(kāi)發(fā)新工藝等；

4）模塊化工藝配方，靈活設(shè)定子配方和總配方，子配方添加/刪減方便，一鍵式操作即可完成多層工藝配方。