分子泵的清洗：   一般來講，如果說前級(jí)泵沒有問題，而真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒有達(dá)到規(guī)定的真空值或者有漏氣（排除其它的漏氣）、或著解吸附作用降低，說明真空泵有點(diǎn)臟了，需要進(jìn)行清洗，這時(shí)不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行清洗，如果太臟的話，就必須進(jìn)行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。  2．從機(jī)器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。 3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等4．拆掉潤滑的油包  5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。  6．往容器中用人無水酒精，高度以前級(jí)真空接口略低為宜.

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等待質(zhì)譜腔內(nèi)氣壓恢復(fù)至常壓后拆下真空系統(tǒng)與質(zhì)譜腔體之間的連接管路。注意：如果質(zhì)譜剛關(guān)機(jī)內(nèi)部有負(fù)壓，一定要先從機(jī)械泵與質(zhì)譜聯(lián)接的波紋管拆開，將氣壓恢復(fù)至常壓后才能拆下連接部件，否則有可能將連接部件的O型圈吸入質(zhì)譜腔體或分子泵，我們在拆卸時(shí)出現(xiàn)過這個(gè)問題。