操作要求  4.1.1分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應(yīng)朝上，以防松弛造成漏氣； 4.1.2不能在大氣狀態(tài)下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應(yīng)的高閥，開啟分子 泵； 4.1.3當M2（箱體2）或M7的真空度始終抽不到位時，應(yīng)檢查旋片泵的電磁閥工作是否 正常； 4.1.4在開分子泵前必須打開冷卻水閥；在分子泵的葉輪停止運轉(zhuǎn)后，必須關(guān)閉冷卻水閥；4.1.5每次停機后，務(wù)必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞；4.1.6當出現(xiàn)報警信息“EF”時，應(yīng)檢查冷卻水路是否通暢，可用氣槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵，待后處理； 4.1.7在分子泵出現(xiàn)問題而不能使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，手動充大氣后，更換備用的分子泵；4.1.8當始終達不到分子泵啟動條件時,應(yīng)檢查前級泵和電磁閥工作是否正常；4.1.9當分子泵出現(xiàn)故障時,須根據(jù)故障提示作相應(yīng)處理。

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優(yōu)點

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳氫化合物。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑軸承，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵

氣體輸送能力強

大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。