上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH 400-國產(chǎn)午分福利國產(chǎn)精品_美麗俏佳人豐胸節(jié)目
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- 品牌
- KRI
- 型號
- eH 400
- 產(chǎn)地
- 美國
美國 KRI 霍爾離子源 eH 400
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH400 低成本設計提供高離子電流, 霍爾離子源 eH400 尺寸和離子能量特別適合中小型的真空系統(tǒng), 可以控制較低的離子能量, 通常應用于離子輔助鍍膜, 預清洗和低能量離子蝕刻.
尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5a
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
KRI 霍爾離子源 eH 400 特性
? 可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時, *大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
? 寬波束高放電電流 - 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
? 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng)
? 等離子轉換和穩(wěn)定的功率控制
KRI 霍爾離子源 eH 400 技術參數(shù):
型號 | eH 400 / eH 400 LEHO |
供電 | DC magnetic confinement |
- 電壓 | 40-300 V VDC |
- 離子源直徑 | ~ 4 cm |
- 陽極結構 | 模塊化 |
電源控制 | eHx-3005A |
配置 | - |
- 陰極中和器 | Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
- 離子束發(fā)散角度 | > 45° (hwhm) |
- 陽極 | 標準或 Grooved |
- 水冷 | 前板水冷 |
- 底座 | 移動或快接法蘭 |
- 高度 | 3.0' |
- 直徑 | 3.7' |
- 加工材料 | 金屬 |
- 工藝氣體 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
- 安裝距離 | 6-30” |
- 自動控制 | 控制4種氣體 |
* 可選: 可調角度的支架; Sidewinder
KRI 霍爾離子源 eH 400 應用領域:
? 離子輔助鍍膜 IAD
? 預清潔 Load lock preclean
? In-situ preclean
? Low-energy etching
? III-V Semiconductors
? Polymer Substrates
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40年改良及發(fā)展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域,上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.
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上海伯東: 羅女士
氦質譜檢漏儀，質譜儀，渦輪分子泵，真空計,真空閥門離子源,高低溫測試機, 高頻感應加熱設備等真空產(chǎn)品
電子接插件、線束和印刷電路板以及傳真機，復印機，照相機，掃描儀用石英玻璃的生產(chǎn)加工，銷售和售后服務；精密儀器、設備的維修，上述產(chǎn)品同類商品及化學產(chǎn)品，塑料、橡膠（天然橡膠除外）及其制品，木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品，陶瓷制品，紡織原料（棉花除外）、玻璃及其制品，賤金屬及其制品（鋼鐵除外），音像設備及其零配件，光學、攝影設備及其零配件，照明器具的批發(fā)，
伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務...