上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRi 射頻離子源 RFICP 220-臺(tái)灣十八禁,歐美片內(nèi)射歐美美美婦
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- RFICP 220
KRi 射頻離子源 RFICP220
上海伯東代理美國(guó)原裝進(jìn)口 KRi 射頻離子源 RFICP220 高能量柵極離子源, 適用于離子濺鍍, 離子沉積和離子蝕刻. 在離子束濺射工藝中, 射頻離子源 RFICP220 配有離子光學(xué)元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實(shí)現(xiàn)更佳的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中,離子光學(xué)元件能夠完成發(fā)散和聚集離子束的任務(wù). 標(biāo)準(zhǔn)配置下射頻離子源 RFICP220 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過(guò) 1000 mA.
KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):
陽(yáng)極 | 電感耦合等離子體 |
*大陽(yáng)極功率 | >1kW |
*大離子束流 | > 1000mA |
電壓范圍 | 100-1200V |
離子束動(dòng)能 | 100-1200eV |
氣體 | Ar, O2, N2, 其他 |
流量 | 5-50 sccm |
壓力 | < 0.5mTorr |
離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn) | OptiBeamTM |
離子束柵極 | 22cm Φ |
柵極材質(zhì) | 鉬 |
離子束流形狀 | 平行,聚焦,散射 |
中和器 | LFN 2000, MHC 1000 |
高度 | 30 cm |
直徑 | 41 cm |
鎖緊安裝法蘭 | 10”CF |
KRI 射頻離子源 RFICP220 基本尺寸
KRI 射頻離子源 RFICP220 應(yīng)用領(lǐng)域：
預(yù)清洗
表面改性
輔助鍍膜 (光學(xué)鍍膜) IBAD,
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
射頻離子源 RFICP 220 集成于半導(dǎo)體設(shè)備, 實(shí)現(xiàn) 8寸芯片蝕刻
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國(guó)創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)寬束離子源,根據(jù)設(shè)計(jì)原理分為考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源.美國(guó)考夫曼離子源歷經(jīng) 40年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)專(zhuān)利. KRi 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD和離子束拋光工藝 IBF 等領(lǐng)域, 上海伯東是美國(guó) KRi 考夫曼離子源中國(guó)總代理.
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上海伯東: 羅先生
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氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜儀，渦輪分子泵，真空計(jì),真空閥門(mén)離子源,高低溫測(cè)試機(jī), 高頻感應(yīng)加熱設(shè)備等真空產(chǎn)品
電子接插件、線(xiàn)束和印刷電路板以及傳真機(jī)，復(fù)印機(jī)，照相機(jī)，掃描儀用石英玻璃的生產(chǎn)加工，銷(xiāo)售和售后服務(wù)；精密儀器、設(shè)備的維修，上述產(chǎn)品同類(lèi)商品及化學(xué)產(chǎn)品，塑料、橡膠（天然橡膠除外）及其制品，木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品，陶瓷制品，紡織原料（棉花除外）、玻璃及其制品，賤金屬及其制品（鋼鐵除外），音像設(shè)備及其零配件，光學(xué)、攝影設(shè)備及其零配件，照明器具的批發(fā)，
伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷(xiāo)售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門(mén)設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶(hù)提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)...