上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH 3000-擁有海量內射人妻騷騷騷|狠狠躁夜夜躁人爽久久久
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- 品牌
- KRI
- 型號
- eH 3000
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH3000 適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上高效, 提供更高離子束流的離子源.
尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性
? 水冷 - 加速冷卻
? 可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時,*大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
? 寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
? 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
? 等離子轉換和穩(wěn)定的功率控制
KRI 霍爾離子源 eH3000 技術參數(shù)
型號 | eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE |
供電 | DC magnetic confinement |
- 電壓 | 50-250V VDC |
- 離子源直徑 | ~ 7 cm |
- 陽極結構 | 模塊化 |
電源控制 | eHx-25020A |
配置 | - |
- 陰極中和器 | Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
- 離子束發(fā)散角度 | > 45° (hwhm) |
- 陽極 | 標準或 Grooved |
- 水冷 | 前板水冷 |
- 底座 | 移動或快接法蘭 |
- 高度 | 4.0' |
- 直徑 | 5.7' |
- 加工材料 | 金屬 |
- 工藝氣體 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
- 安裝距離 | 16-45” |
- 自動控制 | 控制4種氣體 |
* 可選: 可調角度的支架;
KRI 霍爾離子源 eH3000 應用領域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜 ( 光學鍍膜 ) IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉積 DD
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40年改良及發(fā)展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域,上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.
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上海伯東: 羅女士
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伯東公司成立于1953 年,全球范圍內有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務...