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微信號
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品牌
KRI
型號
eH 3000

上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH3000 適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上高效, 提供更高離子束流的離子源.

尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性
? 水冷 - 加速冷卻
? 可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時,*大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
? 寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
? 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
? 等離子轉換和穩(wěn)定的功率控制
KRI 霍爾離子源 eH3000 技術參數(shù)

型號

eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE

供電

DC magnetic confinement

  - 電壓

50-250V VDC

  - 離子源直徑

~ 7 cm

  - 陽極結構

模塊化

電源控制

eHx-25020A

配置

-

 - 陰極中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

 - 離子束發(fā)散角度

> 45° (hwhm)

  - 陽極

標準或 Grooved

 - 水冷

前板水冷

 - 底座

移動或快接法蘭

 - 高度

4.0'

 - 直徑

5.7'

 - 加工材料

金屬
電介質
半導體

 - 工藝氣體

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

 - 安裝距離

16-45”

 - 自動控制

控制4種氣體

* 可選: 可調角度的支架;
KRI 霍爾離子源 eH3000 應用領域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜 ( 光學鍍膜 ) IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉積 DD
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40年改良及發(fā)展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域,上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:

上海伯東: 羅女士


關鍵詞

上海伯東代理 , 美國原裝進口 , KRI , 霍爾離子源 , eH , 3000

更新時間
成立日期
1995年12月01日
法定代表人
大塚通史(OTSUKA NAOHITO)
注冊資本
1550

主營產品

氦質譜檢漏儀,質譜儀,渦輪分子泵,真空計,真空閥門離子源,高低溫測試機, 高頻感應加熱設備等真空產品

經營范圍

電子接插件、線束和印刷電路板以及傳真機,復印機,照相機,掃描儀用石英玻璃的生產加工,銷售和售后服務;精密儀器、設備的維修,上述產品同類商品及化學產品,塑料、橡膠(天然橡膠除外)及其制品,木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品,陶瓷制品,紡織原料(棉花除外)、玻璃及其制品,賤金屬及其制品(鋼鐵除外),音像設備及其零配件,光學、攝影設備及其零配件,照明器具的批發(fā),

公司簡介

伯東公司成立于1953 年,全球范圍內有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務...

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