擴(kuò)散爐-立式擴(kuò)散爐-氧化擴(kuò)散爐 晨立電子
- 報(bào)價(jià)
- ￥200000.00元每臺(tái)
- 聯(lián)系手機(jī)
- 13869885308
- 品牌
- 晨立
- 型號(hào)
- CL4512
- 產(chǎn)地
- 青島
擴(kuò)散爐
設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：
1. 外型形式：?jiǎn)喂芰⑹剑訜?/p>
2. 硅片尺寸：156*156方片/準(zhǔn)方片
3. 工作溫度范圍：400-1200℃
4. 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：≥300mm，單次可裝載10片156*156方形硅片，背靠背裝片模式，配石英舟
5. 恒溫區(qū)精度：±0.5℃/300mm
6. 氣路系統(tǒng)：三路氣體系統(tǒng)，采用進(jìn)口MKS質(zhì)量流量計(jì)、氣動(dòng)閥、等進(jìn)口部件
7. 溫度控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏可編程控制方式，自動(dòng)加手動(dòng)可方便切換，溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口溫控儀，溫度、流按工藝自動(dòng)調(diào)節(jié)
8. 擴(kuò)散方式：設(shè)備配置真空系統(tǒng)，支持負(fù)壓擴(kuò)散方式
9 尾氣處理：設(shè)備配備尾氣處理系統(tǒng)，采用溶液吸收發(fā)吸收尾氣中的有害成分
10.冷卻系統(tǒng)：設(shè)備配有冷水系統(tǒng)，用于保護(hù)密封裝置及冷卻加熱器外殼
11. 報(bào)警及保護(hù)：超溫、斷偶、缺水及真空異常系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警及保護(hù)
爐體，擴(kuò)散爐，鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐，真空燒結(jié)爐，異型加熱器，水冷爐體等配套設(shè)備
一般項(xiàng)目：工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）；電子專用設(shè)備制造；電力電子元器件制造；電子元器件制造；半導(dǎo)體分立器件制造；光伏設(shè)備及元器件制造；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備制造；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產(chǎn)品銷售；半導(dǎo)體分立器件銷售；半導(dǎo)體照明器件銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體照明器件制造；電子專用設(shè)備銷售；
青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導(dǎo)體設(shè)備及零部件、電子設(shè)備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供先進(jìn)材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。主要產(chǎn)品：高低溫?cái)U(kuò)散爐、實(shí)驗(yàn)爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專院?？蒲性核姆菢?biāo)研發(fā)定制工作。公司本著和諧、共贏，以“質(zhì)量求發(fā)展、以誠(chéng)信為根本、以客戶為中心、以用...