一、設(shè)備結(jié)構(gòu):
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。
5、自動化程度:工控機控制系統(tǒng)自動控制工藝流程
6、送取片方式:手動進出舟。
二、主要技術(shù)參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設(shè)置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。
青島晨立電子有限公司主要產(chǎn)品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高 精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新升級改造及各大專院?？蒲性核姆菢搜邪l(fā)定制工作。
更新時間
青島晨立電子有限公司已認證
- 統(tǒng)一社會信用代碼
- 91120103103264527M
- 成立日期
- 2007年06月02日
- 法定代表人
- 姜新誠
- 注冊資本
- 200
主營產(chǎn)品
爐體，擴散爐，鏈式燒結(jié)爐，真空燒結(jié)爐，異型加熱器，水冷爐體等配套設(shè)備
經(jīng)營范圍
一般項目：工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）；電子專用設(shè)備制造；電力電子元器件制造；電子元器件制造；半導(dǎo)體分立器件制造；光伏設(shè)備及元器件制造；環(huán)境保護專用設(shè)備制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產(chǎn)品銷售；半導(dǎo)體分立器件銷售；半導(dǎo)體照明器件銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體照明器件制造；電子專用設(shè)備銷售；
公司簡介
青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導(dǎo)體設(shè)備及零部件、電子設(shè)備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供先進材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。主要產(chǎn)品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新升級改造及各大專院?？蒲性核姆菢搜邪l(fā)定制工作。公司本著和諧、共贏，以“質(zhì)量求發(fā)展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用...
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市場部經(jīng)理姜先生
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