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材料的輸運(yùn)采取了超純的氣路系統(tǒng),源的切換和輸入采用了多路組合閥進(jìn)氣技術(shù)。由于組合閥具有極小的死空間,使得源的殘留量非常少,有利于生長(zhǎng)具有陡峭界面的材料。


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采用壓差控制技術(shù)控制組合閥的旁路和主路之間的壓力,大大降低了源的壓力和濃度波動(dòng),有利于材料生長(zhǎng)的重復(fù)性和穩(wěn)定性。


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采用了管道鑲嵌式進(jìn)氣噴頭,使反應(yīng)源在襯底表面均勻混合并反應(yīng),大大降低了預(yù)反應(yīng)的發(fā)生。


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采用電阻式快速升降溫加熱爐。

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關(guān)鍵詞

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更新時(shí)間
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法定代表人
劉軍
注冊(cè)資本
1085

主營(yíng)產(chǎn)品

PVD鍍膜設(shè)備,CVD金剛石制備設(shè)備,分子束外延MBE設(shè)備,磁控濺射鍍膜機(jī),MOCVD外延設(shè)備

經(jīng)營(yíng)范圍

一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;新材料技術(shù)研發(fā);新材料技術(shù)推廣服務(wù);真空鍍膜加工;泵及真空設(shè)備制造;泵及真空設(shè)備銷售;電子真空器件制造;電子真空器件銷售;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售;半導(dǎo)體分立器件制造;半導(dǎo)體分立器件銷售;機(jī)械設(shè)備租賃;軟件開發(fā);工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù);教育咨詢服務(wù)(不含涉許可審批的教育培

公司簡(jiǎn)介

鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司,由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)、市場(chǎng)和產(chǎn)業(yè)的交叉點(diǎn),堅(jiān)持創(chuàng)新與可持續(xù)發(fā)展,致力于解決產(chǎn)業(yè)的技術(shù)瓶頸和國(guó)產(chǎn)化難題,助力產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司全資子公司,是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造基地。公司業(yè)務(wù)是微納技術(shù)、精密制造及原子級(jí)制造,具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、...

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