鵬城半導(dǎo)體 高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) PC-004 真空度高、抽速快-98國(guó)產(chǎn)精品綜合一區(qū)二區(qū)三區(qū)-日式男女裸交吃奶動(dòng)態(tài)圖
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高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是在高真空條件下，采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法，在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導(dǎo)電薄膜、光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等；可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜；可鍍各種高熔點(diǎn)材料。
可用于生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)及教學(xué)，可根據(jù)用戶要求專門訂制。
可根據(jù)用戶使用要求，選配石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式, 通過(guò)PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制,包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能等，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
設(shè)備特點(diǎn)
設(shè)備具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點(diǎn)，配備 E型電子束蒸發(fā)源和電阻蒸發(fā)源。PID自動(dòng)控溫，具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn)。
可根據(jù)用戶使用要求，選配石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式,通過(guò)PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制,包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能等，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
真空性能
極限真空：7×10^-5Pa～7×10^-6Pa
設(shè)備總體漏放率：關(guān)機(jī)12小時(shí)，≤10Pa
恢復(fù)工作真空時(shí)間短，大氣至7×10^-4Pa≤30分鐘；
設(shè)備構(gòu)成
E型電子束蒸發(fā)槍、電阻熱蒸發(fā)源組件（可選配）、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測(cè)量系統(tǒng)、分子泵真空機(jī)組或低溫泵真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、樣品傳遞機(jī)構(gòu)，膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。
可選件：膜厚監(jiān)控儀，恒溫制冷水箱。
熱蒸發(fā)源種類及配置
項(xiàng)目 參數(shù) 備注| E 型電子束蒸發(fā)系統(tǒng) | 1套 | |
| 功率 | 6kW～10kW | 其它功率(可根據(jù)用戶要求選配） |
| 坩堝 | 1～8只 | 可根據(jù)用戶要求選配 |
| 電阻熱蒸發(fā)源組件 | 1～4套 | （可根據(jù)用戶要求配裝） |
電阻熱蒸發(fā)源種類
-鉭（鎢或鉬）金屬舟熱蒸發(fā)源組件
-石英舟熱蒸發(fā)源組件
-鎢極或鎢藍(lán)熱蒸發(fā)源組件
-鉭爐熱蒸發(fā)源組件（配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝）
-束源爐熱蒸發(fā)組件（配石英坩堝或氮化硼坩堝）
操作方式
手動(dòng)、半自動(dòng)
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)生產(chǎn)廠家 , 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)價(jià)格 , 真空鍍膜機(jī)供應(yīng)商
PVD鍍膜設(shè)備，CVD金剛石制備設(shè)備，分子束外延MBE設(shè)備，磁控濺射鍍膜機(jī)，MOCVD外延設(shè)備
一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是：技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；新材料技術(shù)研發(fā)；新材料技術(shù)推廣服務(wù)；真空鍍膜加工；泵及真空設(shè)備制造；泵及真空設(shè)備銷售；電子真空器件制造；電子真空器件銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體分立器件制造；半導(dǎo)體分立器件銷售；機(jī)械設(shè)備租賃；軟件開(kāi)發(fā)；工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù)；教育咨詢服務(wù)（不含涉許可審批的教育培
鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)、市場(chǎng)和產(chǎn)業(yè)的交叉點(diǎn)，堅(jiān)持創(chuàng)新與可持續(xù)發(fā)展，致力于解決產(chǎn)業(yè)的技術(shù)瓶頸和國(guó)產(chǎn)化難題，助力產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。鵬城微納技術(shù)（沈陽(yáng)）有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造基地。公司業(yè)務(wù)是微納技術(shù)、精密制造及原子級(jí)制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、...