FH-GH系列

單軸傾角傳感器說(shuō)明書

一簡(jiǎn)介

  FH-GH系列傾角傳感器由我司自行研制，用于測(cè)量?jī)A斜的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，儀器級(jí)精度，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具有自檢測(cè)（Self-Test）功能，可實(shí)現(xiàn)BIT（Built-In-Test）檢測(cè).具有數(shù)字和模擬兩種輸出形式。該產(chǎn)品隨溫度和時(shí)間的變化仍有極好的可靠性和穩(wěn)定性。此外，它還具有高分辨率、低噪聲、承受高過(guò)載的特點(diǎn)。

 本產(chǎn)品可用于傾斜測(cè)量?jī)x器、位置測(cè)量、加速度和運(yùn)動(dòng)測(cè)量、汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控等測(cè)量系統(tǒng)中。

二原理

  FH-GH系列單軸傾角傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。

三技術(shù)條件

1型號(hào)                              FH-GH-15                             

2供電

2.1供電電壓（Vdc）                 +5V±5%          

2.2輸入電流(mA)                      <5             

3性能

3.1測(cè)量范圍(°)                      ±15°               

                                   (±0.26g)

3.2零g偏置電壓(V)                 2.5±0.2             

3.3輸出靈敏度（V／g）               8                    

3.4偏置溫漂溫度系數(shù)(mg/℃)         <±0.03             

3.5輸出電壓Uout（V）①            0~5V

3.6非線性度(%)                    ±0.4       

3.7帶寬(Hz,max)                    25

3.8輸出噪聲密度（°/√Hz）        0.0005    

3.9長(zhǎng)期穩(wěn)定性（°）               <0.015         

四．工作環(huán)境

4.1使用溫度(℃)                  -55～+125          

4.2耐加速度：

4.2.1任意軸,不供電(g)             20000        

4.2.2任意軸,供電(g)               20000       

五．重量體積

5.1重量(g)                         ﹤30

5.2體積                          見(jiàn)附件。

六．接線端子定義：接線時(shí)，客戶只能選擇一種輸出方式，模擬或者SPI。