真空泵真空設(shè)備檢漏維修

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

工作條件：

　?、贆z漏儀要工作必須使檢漏儀內(nèi)部真空系統(tǒng)正常工作，因此檢漏儀機械泵8、分子泵1 和電磁閥V1串聯(lián)工作，達到質(zhì)譜室所需要的高真空，滿足離子源可靠工作時即達到檢漏儀工作條件，即我們所說的自檢通過。

　?、跐M足檢漏口14 達到1000 Pa以下，由于真空自耗電弧爐容積約2~3m3，因此無法使用檢漏儀自身的真空泵進行爐室抽空，必須使用電弧爐的真空系統(tǒng)作為檢漏儀的輔助系統(tǒng)對其抽空，從而滿足檢漏口1000Pa 以下的使用要求。

真空箱檢漏儀真空箱檢漏儀

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真空設(shè)備檢漏與維修

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真空箱檢漏儀真空箱檢漏儀

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/p>

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。

真空箱檢漏儀真空箱檢漏儀

(1)工作原理與結(jié)構(gòu)

   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

   ①單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

   現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

  在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；級放大靜電計管和冷陰極電離規(guī)。。

  在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉(zhuǎn)半徑可計算。

  可見，當(dāng)B和U為定值時，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。(me-1)2=4，真空箱檢漏儀，即He+的質(zhì)荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。

   ②雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

 由于兩次分析，減少了非氦離子到達收集器的機率。并且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場，使離子在進入第二個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過個分析器，但是，經(jīng)第二次加速進入第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

   ③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

  逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102；對空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

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