湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

將兩個(gè)面積不相等的電極置于射頻(例如13.56MHZ)輝光放電離子體中形成非對(duì)稱放電，面積小的那個(gè)電容耦合陰極有可能形成并建立陰極靶表面的負(fù)偏壓，并能產(chǎn)生濺射。?電容耦合型射頻(RF)放電電極自給偏壓的形成，可以防止絕緣層表面正電荷的積累，有助于射頻放電的維持。陰極靶表面的“自生負(fù)偏壓”的數(shù)值可以近似等于射頻濺射電壓的幅值，1高時(shí)可達(dá)千伏量級(jí)。

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輝光離子氮化是指利用輝光放電現(xiàn)象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法。采用專用的輝光離子氮化爐，以工件為陰極，爐體為陽(yáng)極，當(dāng)爐內(nèi)真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨氣，使真空室內(nèi)壓力約為66.65~1333.2Pa。

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經(jīng)過(guò)近20年的發(fā)展，低氣壓低溫等離子體已取得了很大進(jìn)展。但由于其運(yùn)行需抽真空、設(shè)備投資大、操作復(fù)雜、不適于工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)，限制了它的廣泛應(yīng)用。低氣壓下的輝光放電雖然可以處理這些材料，但存在成本、處理效率等問(wèn)題，目前無(wú)法規(guī)?；瘧?yīng)用于紡織品的表面處理。長(zhǎng)期以來(lái)人們一直在努力實(shí)現(xiàn)大氣壓下的輝光放電(APGD)。

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