上海三井真空設(shè)備有限公司
saes吸氣劑集團(tuán)公司吸氣劑泵產(chǎn)品中國(guó)大陸總代理
吸氣劑泵是什么？
¨吸氣劑泵是一種化學(xué)吸附泵，能夠吸收各種活性氣體（如：氫氣、水、氧氣、二氧化碳、一氧化碳、氮?dú)猓?/p>
¨吸氣劑泵吸附氣體的機(jī)理：吸氣劑材料與活性氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成低蒸氣壓的固體化合物，從而性地去除真空系
統(tǒng)中的各種活性氣體。
¨氫氣是通過(guò)溶解到吸氣劑體內(nèi)形成固溶體。
¨吸氣劑泵不抽除惰性氣體。
吸氣劑泵的特性
¨對(duì)活性氣體（氫氣、水、氧氣、二氧化碳、一氧化碳、
氮?dú)猓┑母叱樗俸透呶鼩馊萘浚?/p>
¨不抽除惰性氣體；
¨常溫下不吸收甲烷氣體；
¨對(duì)氣體的抽速不受從高真空到極限真空范圍內(nèi)壓力變化
的影響；
¨無(wú)震動(dòng)、重量輕、非常緊湊；
¨經(jīng)激活后，吸氣劑泵工作時(shí)無(wú)需電源；
¨沒(méi)有電磁場(chǎng)干擾；
¨無(wú)低壓限制。
吸氣劑泵的操作
¨不同于鈦升華泵，吸氣劑泵不需要蒸發(fā)吸氣材料。
¨但是，吸氣劑泵需要被激活（在動(dòng)態(tài)真空下被加熱）：
a) 激活溫度：350-500 攝氏度
b) 激活時(shí)間：30-60 分鐘
¨經(jīng)激活后，吸氣劑泵在常溫下吸收氣體無(wú)需電源。
¨如果氣載較高，吸氣劑泵也可以選擇工作在較高的溫度條件下（如：200-300攝氏度）。
¨當(dāng)吸氣容量飽和后（或真空腔室暴露大氣后），吸氣劑泵需要重新激活。這種反復(fù)激活可以進(jìn)行至少50次。
吸氣劑泵可以單獨(dú)使用，同時(shí)也可以與離子泵、低溫泵或渦輪分子泵組合使用。與其他類型真空泵組合使用時(shí)，吸氣劑泵能帶來(lái)如下的優(yōu)勢(shì)：
¨更高效地抽氫
¨獲得更好的極限真空
¨縮短抽氣時(shí)間
¨減少烘烤時(shí)間（吸氣劑泵是唯一能夠直接安裝在真空腔室的真空泵）
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