實(shí)驗(yàn)室氣路安裝5
氣體管件在安裝時(shí)，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無(wú)接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)。管件與管件間的連接***好以軌道式焊接法（OrbitalWelding）來(lái)接合，氮?dú)庵脫Q管道管徑，對(duì)于不銹鋼的焊接要采用弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對(duì)金屬面密封（Metalto metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠比較常用的氣體管路連接的接頭方式有VCR和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進(jìn)行選擇。一般情況下，煤氣管道送氣前氮?dú)庵脫Q方案，VCR式的接頭主要用在制程氣體以及危險(xiǎn)氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會(huì)適度變形以確保管路每秒低于10-9cc的氦氣泄漏率（LeakageRate）。不過(guò)在接合時(shí)要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過(guò)度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok接頭通常用在惰性氣體、氮?dú)庖约癈DA等氣體的傳輸上，因?yàn)檫@些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭?？偟膩?lái)說(shuō)，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長(zhǎng)度、接頭和閥件的數(shù)量，因?yàn)榇蠖鄶?shù)的危險(xiǎn)氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。
然氣管道氮?dú)庵脫Q
管道使用前必須充入百氮?dú)庵脫Q。

的主要成分是，具有可燃性，與氧氣或空氣混合時(shí)點(diǎn)燃有可能會(huì)發(fā)生。在空氣中的極限下限為5%，上限為15%。

在沒(méi)有通氣體之前，管道里是空氣，管道氮?dú)庵脫Q，如果不用氮?dú)庵枚葥Q，管道氮?dú)庵脫Q費(fèi)用，通入可燃?xì)怏w，可燃?xì)怏w和空氣混合，形成的混合氣體具有性，濃度達(dá)到一定的范圍，遇到火星或者流動(dòng)中產(chǎn)生靜電，就發(fā)生。

管道用氮?dú)庵脫Q原理

一是氮?dú)獗阋?，二?nèi)是與空氣成分相對(duì)接近。氮?dú)庠诳諝庵姓?8%左右，所以分離得到氮?dú)夥浅１阋?，而且氮?dú)獠换顫姡ǔＧ闆r下和可燃物一起不燃燒。

用氮?dú)庾鳛榕c空氣間的隔容離介質(zhì)，投產(chǎn)時(shí)推動(dòng)氮?dú)?、氮?dú)馔苿?dòng)空氣進(jìn)行管道線路置換，從而使管道達(dá)到順利投產(chǎn)條件。

表1 小管徑管道用液氮汽化置換換算系數(shù)

序號(hào) 公稱(chēng)直徑 換算系數(shù) 備注 1 DN200以內(nèi) 0.6 換算子目5-3402 2 DN300以內(nèi) 0.7換算子目5-3402 3

DN400以內(nèi)

0.8

換算子目5-3402

注：相應(yīng)的分析化驗(yàn)臺(tái)班不做換算。

6.分析化驗(yàn)臺(tái)班：按設(shè)計(jì)文件或氮?dú)庵脫Q方案確定的分析化驗(yàn)臺(tái)班數(shù)量計(jì)算。若無(wú)明確規(guī)定，則按每一置換段管道或管段進(jìn)氣、出氣端各設(shè)置一個(gè)分析化驗(yàn)點(diǎn)計(jì)算。

7.置換機(jī)械設(shè)備臺(tái)班停滯占用費(fèi)，計(jì)算方法為：每超過(guò)7小時(shí)計(jì)一臺(tái)班，行駛設(shè)備按臺(tái)班費(fèi)用的80%計(jì)算，非行駛設(shè)備按臺(tái)班費(fèi)用的50%計(jì)算（臺(tái)班單價(jià)按定額機(jī)械臺(tái)班費(fèi)計(jì)）。

8.操作人員等待費(fèi)，計(jì)算計(jì)算方法為：每超過(guò)7小時(shí)計(jì)一工日，只計(jì)人工工日單價(jià)44.50元/工日，不再計(jì)取費(fèi)用。

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