做好潔凈室施工的要點

1、暖通專業(yè)

良好的溫濕度控制是電子行業(yè)潔凈廠房的一個重要要求。只有準確有效的溫濕度控制才能保證電子產(chǎn)品的質(zhì)量。進行電子行業(yè)潔凈廠房的溫濕度控制時，一方面要做好絕熱保溫措施，另一個重要的方面就是搭建合理有效的暖通設備，以有效的調(diào)節(jié)室內(nèi)溫濕度。首先，要選擇合適的暖通設備。電子行業(yè)潔凈廠房結構不同，空間大小各異，生產(chǎn)的電子產(chǎn)品規(guī)格和型號不同對溫濕度的要求也不同，在暖通設備的選擇過程中要考慮自身具體的情況，以及溫濕度調(diào)節(jié)的需求，選擇適宜的暖通設備；其次，搭建暖通風管時也要謹慎認真，結合電子行業(yè)潔凈廠房的結構進行搭建，確保溫濕度控制的充分性和有效性。同時，要注意風管管路內(nèi)部的清潔性和密封性，因為其中的粉塵有可能會滲透到電子產(chǎn)品的工作環(huán)境中，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

2、裝修專業(yè)

電子行業(yè)潔凈廠房另一個重要的要求是潔凈度。因此，在電子行業(yè)潔凈廠房的施工過程中，一定要控制結構和材料，盡可能的使電子行業(yè)潔凈廠房免受裝飾材料的影響。在電子行業(yè)潔凈廠房材料的選擇中，要選用不積塵的材料，這樣可以有效的避免塵埃的積累，保證電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的清潔干凈；在電子行業(yè)潔凈廠房的施工中，要注意結構的封閉性，這樣即可以保證電子行業(yè)潔凈廠房免受外界塵埃的影響，也可以起到一定的絕熱作用，保證室內(nèi)的溫度適宜電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和保存。

在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，極少的粉塵也會嚴重影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量。因此，電子行業(yè)潔凈廠房的清潔要滿足嚴格的標準。除此之外，保證室內(nèi)均勻的氣流分布，也是電子行業(yè)潔凈廠房施工中要考慮的一個重要方面。如果室內(nèi)的氣流不穩(wěn)定，那么湍急的空氣會將粉塵帶入電子產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量。電子行業(yè)潔凈廠房潔凈度等級共劃分為9個級別，1?5級的氣流組織為垂直或水平單向流潔凈室，6?9級則采用非單向流即亂流。均勻氣流分布主要作用在于限制和減少灰塵對工件或工作區(qū)域的污染。而電子行業(yè)潔凈廠房的結構是室內(nèi)氣流分布的決定因素，在設計和施工中，要考慮到結果對氣流的影響，施工結束后還應測試氣流水平，符合其標準。

3、電氣及自控

電子行業(yè)潔凈廠房的電氣設施和自控設備也是施工過程中的一個重要環(huán)節(jié)。電氣設施是電子行業(yè)潔凈廠房的核心，它的正常工作是電子產(chǎn)品有序生產(chǎn)的保證。在電氣設施的安裝過程中要考慮電子行業(yè)潔凈廠房電子線路的總功率和線路結構，進行合理的選擇和安裝；同時自控設備也要具體考慮電子行業(yè)潔凈廠房情況，合理選用和安裝。另外，潔凈室凈化工程施工與設計，要注意自控設備的的合理性及及時性，注意節(jié)能。

凈化空調(diào)系統(tǒng)是電子行業(yè)潔凈廠房中的重要電氣設施，是控制室內(nèi)溫濕度、氣流風速和壓力梯度的關鍵系統(tǒng)，系統(tǒng)中的過濾器更是承擔著除塵的重要任務。因此在凈化空調(diào)系統(tǒng)的施工中，一定要注意各個設備的質(zhì)量，保證整個系統(tǒng)工作的有效性。施工完成后，還應對其工作效果進行測試，凈化工程，保證滿足電子行業(yè)潔凈廠房的標準。

4、施工時注意各工序之間的配合

在電子行業(yè)潔凈廠房的施工過程中，朗潔萬達以遵循先外后里，先主后次的原則。如果施工計劃不合理，施工順序混亂，會嚴重影響施工質(zhì)量，為今后電子產(chǎn)品的生產(chǎn)帶來不便與不良影響。因此，電子行業(yè)潔凈廠房的施工首先要制定合理的施工計劃，考慮各個施工環(huán)節(jié)之間的相互關系和相互影響，確保施工過程合理有序；其次，在施工過程中，要注意對以完成的施工項目進行保護；同時，在施工過程中要注意潔凈，盡可能的避免產(chǎn)生大量粉塵，保證室內(nèi)環(huán)境的清潔。

結語

電子廠圍護結構的密閉性，潔凈室的潔凈度，精密制造凈化工程，溫濕度控制的有效程度以及電氣設備的質(zhì)量是電子行業(yè)潔凈廠房的重要指標，會影響室內(nèi)生產(chǎn)和存放的電子產(chǎn)品的質(zhì)量。因此在電子行業(yè)潔凈廠房的施工過程中要格外注意這些方面的施工質(zhì)量，確保電子行業(yè)潔凈廠房可以為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和存放提供一個適宜的環(huán)境。

新建實驗室工程設計施工、廣東實驗室設計施工

我們執(zhí)行FS209E美國聯(lián)邦標準、ISO14644-1、GB50073-2001國家標準、工業(yè)潔凈廠房凈度標準GMP-97及國家GMP、QS規(guī)范要求為客戶提供專業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程和實驗室工程設計、施工、檢測及技術支持服務，可根據(jù)客戶對潔凈室系統(tǒng)的技術要求和實際現(xiàn)場情況規(guī)劃設計、施工及制作專業(yè)凈化設備〔主要產(chǎn)品包括:除塵除靜電凈化設備、全自動人/貨風淋室、傳遞窗、潔凈工作臺、凈化流水生產(chǎn)線、送風口、風機過濾單元（FFU）、煙塵收集器、移動自凈器、無塵儲物柜、除濕凈化機、組合式空氣處理機組等凈化設備及過濾器、中效過濾器、過濾器、初效過濾器、煙塵空氣過濾器等〕。

潔凈室又叫無塵室或清凈室，為將一定空間范圍之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電

控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。

 潔凈室之使用，大致可分為二類。

1、工業(yè)用潔凈室簡稱I.C.R，以半導體、電子工業(yè)、光學機器、精密機械、精致涂裝、新素材及航空等為范圍，主要控制塵埃粒子。優(yōu)點有三：A.提高品質(zhì)及優(yōu)良率；B.節(jié)省產(chǎn)品工時及成本；C.降低費用。該類潔凈室一般具有正壓式潔凈環(huán)境。

2、生化用潔凈室簡稱B.C.R，以制藥、醫(yī)學、遺傳基因產(chǎn)業(yè)、生命科學、設施、食品及生物實驗室等范圍，主要控制生物粒子及塵埃。優(yōu)點有三：A.防止感染；B.提高食品、藥物品質(zhì)；C.延長食品及藥物之儲存期限。有害生物實驗室必須采用負壓式潔凈室。

 目前，大多數(shù)廠家在設計籌集無塵車間的時候，都只考慮產(chǎn)品生產(chǎn)制造和組裝車間的潔凈度考慮，工程驗收后認為等級合格，加上簡單的耗材更換就可以長期保證空間的潔凈度和所生產(chǎn)1產(chǎn)品的優(yōu)良率，然而事實是在此后的使用中會發(fā)現(xiàn)：潔凈等級下降、風壓減少、溫度和濕度達不到要求、設備經(jīng)常發(fā)生故障、地面損壞和達不到防靜電導靜電要求等等問題層出不窮。當檢查出一二個問題所在，排除了也不能解決整個車間的良性運轉。

其實，無塵室建成后，是需要嚴格的管理和系統(tǒng)的維護的，才能保證空間潔凈等級長期達標和設備的長效使用！

電子工廠別潔凈廠房的建造特點

1電子工廠生產(chǎn)工藝對受控環(huán)境的要求

電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有：建筑圍護、結構、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結構的承重、圍護結構的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等?？偟膩碚f，電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴五個字來形容。

·大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈室的面積來說，5代TFT生產(chǎn)用潔凈室的面積約28000m2；6代TFT潔凈室的面積約40000m2；到了8代TFT生產(chǎn)用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。潔凈室內(nèi)可停放20多架波音747飛機。

·凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。例如，12時園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級(0．1um)也就是每立方英尺空氣中≥O．1um的粒子數(shù)不能超過1顆。相當于ISO1級。

·精：電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。還以上述微電子的光刻間為例：其溫度精度為士0．1℃，相對濕度的精度為士3％。

·純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊?。例如：對高純水而言，不僅對其電阻率有要求，而且對高純水中所含粒子、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴格的要求，隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展，對其純度的要求也越來越高?？芍^純之又純。

·嚴：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴格的要求，同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，實驗室凈化工程施工與設計，對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。

2電子工廠別潔凈室多采用混合流潔凈室

為了降低潔凈室的建造初投資和運行能耗，電子工廠的別潔凈室一般把ISO 1級～ISO5級這樣高凈化級別的垂直單向流用在工藝生產(chǎn)重要、關鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級～ISO8級)替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔凈室內(nèi)，構成混合流潔凈室。

混合流潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般采用新風機組(MAU)加風機過濾器機組(FFU)加干冷盤管(DC)的送風方案。當前國內(nèi)外微電子、光電子等大面積的生產(chǎn)廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強，適應電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間等優(yōu)點，是較佳的空氣處理方案的送風系統(tǒng)。

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