XYR 對(duì)位平臺(tái)，又稱XXY、UVW對(duì)位平臺(tái)，屬于三軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過(guò)3 個(gè)線性移動(dòng)軸的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)XY 兩軸線性運(yùn)動(dòng)和θz軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。和TMC-XYR專用運(yùn)動(dòng)控制器內(nèi)嵌的運(yùn)動(dòng)算法和軟件，可以實(shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動(dòng)、兩軸線性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動(dòng)。XYR對(duì)位平臺(tái)是高精度視覺(jué)對(duì)位系統(tǒng)中機(jī)械執(zhí)行部分，主要應(yīng)用在曝光機(jī)、邦定機(jī)、光罩印刷機(jī)、WAFER 對(duì)位、零件安裝、PCB 鉆孔機(jī)、LCD點(diǎn)燈特性檢查、切割機(jī)、貼片機(jī)（LCD/FPC）、網(wǎng)版印刷機(jī)等場(chǎng)合。

UVW對(duì)位平臺(tái)整體結(jié)構(gòu)：

XYR對(duì)位平臺(tái)通常由上臺(tái)面、下底面和中間的四個(gè)模組構(gòu)成，從模組分布的結(jié)構(gòu)上分為：對(duì)稱結(jié)構(gòu)和非對(duì)稱結(jié)構(gòu)，而對(duì)稱性結(jié)構(gòu)，又可分為“十字形對(duì)稱結(jié)構(gòu)”和“四角形對(duì)稱結(jié)構(gòu)”等。

 非對(duì)稱結(jié)構(gòu)通常用在超薄型或者客戶定制的需求中，而且通常中間不能設(shè)計(jì)通孔，所以在一些特定情況下使用。而對(duì)稱結(jié)構(gòu)在運(yùn)動(dòng)算法方面比較通用，而且對(duì)位平臺(tái)中心位置可以設(shè)計(jì)通孔，一定程度上可以滿足透射式和反射式的對(duì)位需求，故被廣泛采用。對(duì)稱結(jié)構(gòu)中的四角形分布，其剛性和可擴(kuò)充能力更強(qiáng)，所以卓立漢光對(duì)位平臺(tái)，更多地使用四角對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

 對(duì)位平臺(tái)模組：

XYR 對(duì)位平臺(tái)通常由4 個(gè)運(yùn)動(dòng)模組組成，其中三個(gè)帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，另外一個(gè)為從動(dòng)（無(wú)驅(qū)動(dòng)）模組。

由于對(duì)位平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，而側(cè)驅(qū)型模組比較節(jié)省長(zhǎng)度方向的空間，所以比較常用。

對(duì)位平臺(tái)模組通常由X 軸、Y 軸和θz 軸組成，這三軸組合為對(duì)位平臺(tái)模組時(shí)，通常分為幾種結(jié)構(gòu)：

雖然對(duì)位平臺(tái)由模組搭建，但由于實(shí)際搭建過(guò)程中，對(duì)機(jī)加工、裝配、檢驗(yàn)、運(yùn)動(dòng)控制等方面要求較高，不推薦無(wú)經(jīng)驗(yàn)的用戶采購(gòu)模組自行安裝。