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電子級(jí)氟硼酸質(zhì)量指標(biāo)
目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氟硼酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同,可將其劃分為四個(gè)檔次:①低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;②中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;③產(chǎn)品,河北氟硼酸50%,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術(shù)的制作;④產(chǎn)品,適用于0.09~0.2μm和<0.09μmIC工藝技術(shù)的制作。
產(chǎn)品包裝方法:采用高密度聚乙烯專用密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。
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對(duì)水質(zhì)要求高,要求水的電阻率≥18.0MΩ·cm。
高純水是生產(chǎn)電子氟硼酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氟硼酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。
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無色液體。熔點(diǎn)-90℃。沸點(diǎn)130℃。能和水或醇相混溶。氟硼酸用于金屬表面氧化物、硅酸鹽膜的清潔和腐蝕劑,鋁和合金電鍍前的清洗。鉛錫電鍍時(shí)作導(dǎo)電液,也用作觸媒、金屬表面活性劑。
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化工產(chǎn)品、化工原料、化學(xué)試劑、化學(xué)助劑、化纖原料
在危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營許可證核準(zhǔn)的范圍內(nèi)經(jīng)營(有效期限以許可證為準(zhǔn));化工產(chǎn)品、化工原料、化學(xué)試劑、化學(xué)助劑、化纖原料(以上五項(xiàng)不含危險(xiǎn)、監(jiān)控及易制毒化學(xué)品)、紡織品、玻璃儀器、金屬制品、塑料制品、木制品、紙、紙制品、紙漿、皮革及制品、文具用品、廢紙箱、電子產(chǎn)品、儀器儀表、五金交電、電氣設(shè)備、包裝制品、勞保用品、日用百貨、建筑材料、煤炭、鋼材、消防設(shè)施、計(jì)算機(jī)軟硬
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