供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列 的詳細介紹
新的9000系列的串接式平臺，其模組腔室設計，可以提供制程使用的彈性以及未來的擴充性。
有助于順利過渡到未來450mm晶圓用設備的平臺和用戶界面標準化整合。
9000系列平臺采用了日立成熟的微波ECR（Electron CyclotronResonance）等離子體蝕刻腔室，已經(jīng)過大批量生產(chǎn)的考驗。
| 300mm |
| 9 chambers (max.) |
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部分規(guī)格會與照片不一樣。
日本進口工業(yè)儀器代理，光學測量設備供應，F(xiàn)A自動化零部件分銷，精密扭力工具總代
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