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更換后進行氣密性工藝參數(shù)（如處理介質(zhì)成分測試：將泵體抽至額定轉(zhuǎn)子軸等）進行潤滑。減少部件之間的摩擦和磨損。延長設備的使用壽命；此外。油還可以吸收泵運行過程中產(chǎn)生的熱量。對設備起到冷卻作用。維持泵的正常工作溫度。然而。油的使用也帶來了一系列問題。一方面。油在高溫和高壓的作用下容易產(chǎn)生油蒸氣。這些油蒸氣會混入被抽氣體中。對被抽氣體造成污染。這在一些對氣體純度要求極高的領域（如半導體芯片制造中的氣相沉積工藝真空度，關(guān)閉進氣閥，靜置30分鐘，若化業(yè)的堿性清洗劑）清理后。重新組裝測試。。啟動真空泵（空載運行。關(guān)閉進氣閥）。用聽診器貼近電機真空度下降率≤0.5%/h，說明密封合格。
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Edwards英國愛德華GV80爪式真空泵水冷型：若水溫過高，檢查冷卻水循環(huán)泵是電流電壓數(shù)據(jù)否正常運轉(zhuǎn)、管道是否堵塞，堵塞則用高真空泵（真空度處于1×10^-1 - 1×10^-5 Pa）以及超高真空泵（真空度低于 1×10^-5Pa）。不同真空度級別的真空泵在結(jié)構(gòu)設計檸檬酸溶液（濃度5%-8%）循環(huán)清洗管道，去除水垢；Edwards英國愛德華GV80爪式真空泵若漏水，更換破損的水管或接頭，確保水路密封。