鉭源前驅(qū)體五氯化鉭 TaC 涂層前驅(qū)體 CAS 7721-01-9-國(guó)產(chǎn)精品一二三四免費(fèi)看-97色倫圖片97色倫圖影院久久メイリン モデルコレクション メ
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- 外觀
- 白色至微黃色結(jié)晶性粉末
- 沸點(diǎn)
- 233–242 ℃
- 分子式
- TaCl?
五氯化鉭（TaCl?，CAS 7721-01-9）分子式 Cl?Ta、分子量358.21，是鉭的 + 5價(jià)氯化物，由鉭金屬與高溫氯化或五氧化二鉭與氯化劑反應(yīng)制得，為鉭化學(xué)的基礎(chǔ)原料。物理性質(zhì)上為白色至淡黃色單斜結(jié)晶粉末，熔點(diǎn)216~221℃、沸點(diǎn) 242℃（可升華）、密度 3.68 g/mL（25℃）、高溫蒸氣壓顯著。溶解性方面遇水猛烈水解，釋放并生成TaOCl?、Zui終成五氧化二鉭，溶于、、和氫氧化鉀，微溶于醇。化學(xué)性質(zhì)上為強(qiáng)親電 Lewis 酸，類似 Friedel-Crafts催化劑，吸濕性強(qiáng)、接觸潮氣即分解，禁配強(qiáng)堿、潮濕空氣，遇潮腐蝕金屬。儲(chǔ)存須無水無氧密封（惰性氣氛）、干燥防潮，遠(yuǎn)離強(qiáng)堿和可燃物。
基本信息
中文名：五氯化鉭（氯化鉭 (V)）
英文名：Tantalum (V) chloride；Tantalumpentachloride
別名：氯化鉭、五氯化鉭 (V)
分子式：TaCl?
分子量：358.21
CAS：7721-01-9
EINECS：231-755-6；RTECS：WW5600000
物理化學(xué)性質(zhì)
外觀：白色至微黃色結(jié)晶性粉末 / 固體，強(qiáng)吸濕性
密度：3.68g/cm3（25 ℃）；堆積密度約 2.4 g/cm3
熔點(diǎn)：約 216–221 ℃（口徑 210–221 ℃不一）；沸點(diǎn)：約 233–242 ℃（常壓）；可在干燥或 CO?中升華
蒸氣壓：69.9hPa @169.3 ℃；閃點(diǎn)：不適用（無機(jī)物）
溶解性：溶于、、氯仿、及堿液（KOH 溶液）；微溶于醇 / 無水醇；遇水劇烈水解
主要用途（分領(lǐng)域）
應(yīng)用領(lǐng)域 | 作用 | 典型場(chǎng)景 |
半導(dǎo)體 / 微電子（核心高端用途） | CVD/ALD 鉭源前驅(qū)體 | TaN 阻擋層（先進(jìn)制程芯片銅互連抗擴(kuò)散）、金屬鉭導(dǎo)電層、Ta?O?高介電薄膜 |
第三代半導(dǎo)體 SiC | TaC 涂層前驅(qū)體 | 碳化硅長(zhǎng)晶石墨坩堝等熱場(chǎng)部件碳化鉭涂層（六英寸成熟、八英寸剛需） |
鉭金屬 / 鉭粉制備 | 還原制鉭中間體 | 氫還原制金屬鉭、高 CV 鉭粉、鉭電容器、碳化鉭中間體 |
光學(xué) / 功能薄膜 | 鍍膜材料前驅(qū)體 | 高折射率 Ta?O?光學(xué)鍍膜、氧化鉭涂層、鐵電薄膜 |
有機(jī)合成 / 催化 | Lewis 酸催化劑 | Friedel-Crafts 反應(yīng)、氯化反應(yīng)、聚合催化 |
其他工業(yè) | 功能材料原料 | 超級(jí)電容器、電解應(yīng)用等 |
與相關(guān)產(chǎn)品對(duì)比（防混淆關(guān)鍵）
與五氯化鈮（NbCl?，CAS10026-12-7）對(duì)比：鉭鈮同族、物性相近——高純電子級(jí) TaCl?的關(guān)鍵指標(biāo)即控制 Nb雜質(zhì)含量，鉭鈮分離是純度核心。
與四氯化鈦（TiCl?，CAS7550-45-0）對(duì)比：同為金屬氯化物前驅(qū)體，TiCl?用于 TiN/TiO?體系；TaCl? 用于 TaN/Ta?O?——沉積工藝與目標(biāo)薄膜不同。
與五氟化鉭（TaF?）對(duì)比：氟化物前驅(qū)體用于不同沉積路線，TaCl?為氯化物主流。
安全信息（毒性與儲(chǔ)存）
危險(xiǎn)分類：8 類腐蝕性固體（酸性、無機(jī)）——中國(guó)《危險(xiǎn)化學(xué)品目錄》列入，信號(hào)詞：危險(xiǎn)（Danger）
GHS 分類（GESTIS/ Thermo / 中文SDS 口徑）：皮膚腐蝕 1B（H314 嚴(yán)重皮膚灼傷和眼損傷）；嚴(yán)重眼損傷（H318）；急性毒性 - 經(jīng)口 4（H302 吞食有害）；呼吸道刺激（H335）；對(duì)金屬可能具腐蝕性（H290）
健康危害：遇水 / 濕氣即釋放 HCl——嚴(yán)重腐蝕皮膚、眼睛與呼吸道；吞食有害；粉塵吸入刺激；水解反應(yīng)放熱
防護(hù)：防化手套（丁基 / 氯丁橡膠）、護(hù)目鏡 + 面屏、防酸防護(hù)服；防潮操作（惰性氣氛手套箱 / 干燥環(huán)境）；作業(yè)場(chǎng)所強(qiáng)制通風(fēng)
泄漏 / 接觸：?嚴(yán)禁直接用水沖洗泄漏物（劇烈水解放熱并生成 HCl 煙氣）——用干燥砂土或惰性吸附劑圍堵收集、防潮密閉處置；眼 —— 清水沖洗 ≥15 min 立即就醫(yī)；皮膚 —— 脫污染衣物、大量沖洗就醫(yī)；吸入 ——移至新鮮空氣、給氧就醫(yī)
儲(chǔ)存運(yùn)輸：嚴(yán)格密封防潮（氮?dú)夥獯?/ 干燥器）、陰涼干燥；遠(yuǎn)離水、濕氣、醇類、堿類與還原劑；運(yùn)輸按 UN 3260
醫(yī)藥中間體，農(nóng)藥中間體，OLED中間體，精細(xì)化工原料
廊坊昭秦能源科有限公司，是一家以從事化學(xué)原料和化學(xué)制品制造業(yè)為主的企業(yè)?？偼顿Y8000余萬元。主要從事醫(yī)藥、醫(yī)藥中間體、精細(xì)化工、OLED中間體等新型化學(xué)材料的研發(fā)，生產(chǎn)和銷售。長(zhǎng)期以來公司以開發(fā)醫(yī)藥中間體，新型光電顯示產(chǎn)品為主導(dǎo)方向，不斷進(jìn)行技術(shù)改造和產(chǎn)品創(chuàng)新以滿足由科技發(fā)展帶來的市場(chǎng)需求。 公司擁有領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢(shì)：催化加氫反應(yīng)（Catalytic Hydrogenation Reaction），鹵代反應(yīng)（Halogenati...