預(yù)加熱滑動PECVD系統(tǒng)_1200℃_雙溫區(qū)/多溫區(qū)-艷婦肥臀瘋狂聳動榨精采補メイリン モデルコレクション メ|在線一區(qū)二區(qū)三區(qū)高清
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PECVD系統(tǒng)是一種 Plasma 增強 CVD系統(tǒng)(PECVD)，在傳統(tǒng) CVD系統(tǒng)的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，降低氣相沉積反應(yīng)溫度，沉積速度快，成膜質(zhì)量好。包含加熱系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)、射頻電源、滑動裝置、質(zhì)量氣體流量控制、真空控制系統(tǒng)、預(yù)加熱系統(tǒng)等模塊，根據(jù)工藝要求多模塊自由組合，并可擴展升級配置，節(jié)約成本。適用于Plasma增強化學(xué)氣相沉積工藝。
PECVD系統(tǒng)-產(chǎn)品用途:
PECVD系統(tǒng)可以用于二維材料制備、石墨烯生長、TMDs材料制備、二硫化鉬、薄膜材料制備、氧化物薄膜、碳化物薄膜、氮化物薄膜、金剛石薄膜、金屬涂層、碳納米管生長、Zn0納米結(jié)構(gòu)生長、新晶體材料、陶瓷纖維、陶瓷電容氣氛燒結(jié)、非晶態(tài)合金、粉體材料氣氛燒結(jié)、等離子表面改性等離子聚合、等離子清洗等
預(yù)加熱PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.手動、電動滑動系統(tǒng)
3.預(yù)加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6.真空控制系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點：
生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。
產(chǎn)品參數(shù)：
系統(tǒng)名稱 | 1200℃(含滑動式)單/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng) | |||
系統(tǒng)型號 | PECVD-12IH-500A | PECVD-12II-3Z/G | PECVD-12IIH-3Z/G | PECVD-Y12IIH-3Z/G |
Zui高溫度 | 1200℃ | |||
加熱區(qū)長度 | 200mm | 420mm | ||
恒溫區(qū)長度 | 70mm | 200mm | ||
溫區(qū) | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) | ||
石英管管徑 | Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm | |||
額定功率 | 1.2Kw | 3.2Kw | 6.2Kw | |
額定電壓 | 220V | |||
滑動距離 | 200mm | 380mm | ||
滑動方式 | 手動滑動/自動滑動(由溫度控制器自動控制移動。當(dāng)程序完成，爐子按設(shè)定的速度滑動) | |||
溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫 | |||
控制精度 | ±1℃ | |||
爐管Zui高工作溫度 | <1200℃ | |||
氣路法蘭 | 采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接 | |||
排風(fēng)冷卻裝置 | 先進的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到50℃時，排溫風(fēng)扇將自動啟動，使?fàn)t體表面快速降溫 | |||
氣體控制方式 | 質(zhì)量流量計(按鍵式) | |||
氣路數(shù)量 | 1～3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量) | |||
流量范圍 | 0-500sccm(標(biāo)準毫升/分，可選配)氮氣標(biāo)定 | |||
精度 | ±1%F.S | |||
響應(yīng)時間 | 1sec | |||
工作溫度(流量計) | 5-45℃ | |||
工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力) | |||
進氣方式 | 采用防倒流設(shè)計 | |||
規(guī)格 | 中真空 | 高真空 | ||
系統(tǒng)真空范圍 | 1-1000Pa(可選配其它量程) | 10-1x10-3Pa | ||
真空泵 | 雙極機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽泣速率4L/S (選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧過濾器，額定電壓220V,功率0.55Kw | 真空分子泵理論極限真空度真空分子泵理論極限真空度 5x10-Pa,抽泣速率1200L/S(選配：5x10-6Pa,抽泣速率1600L/S(選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧 其它抽速真空泵),出氣口配有油霧 過濾器，額定電壓220V,功率2Kw 過濾器，額定電壓220V,功率2Kw | ||
信號頻率 | 13.56MHz±0.005% | |||
功率輸出范圍 | 0-100W | 1-500W | ||
Zui大反射功率 | ≤1% | |||
工作功率 | ≤70W | ≤350W | ||
射頻輸出接口 | 50Ω,N-type,temale | |||
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |||
諧波分量 | ≤-50dbc | |||
供電電壓 | 單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ | |||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |||
整機功率 | ≤70% | |||
屏幕顯示 | 正方向功率，匹配器電容位置，偏置電壓值 | |||
系統(tǒng)外形尺寸 | 530×1440×750mm | 530×1440×750mm 530×1740×750mm | ||
系統(tǒng)總重量 | 230Kg | 230Kg | 290Kg | 330Kg |
馬弗爐，箱式爐，管式爐，高溫接觸角測量儀，高溫形變儀，CVD設(shè)備，PECVD設(shè)備，焦耳熱設(shè)備，水氧腐蝕裝置，真空釬焊爐，鐘罩爐，排膠爐
實驗電爐、實驗室儀器制造；實驗分析儀器制造；工業(yè)電爐制造、銷售；機械設(shè)備、電氣設(shè)備維修；機械加工、玻璃儀器、機電產(chǎn)品、五金交電批發(fā)；鋼材銷售；...（以上經(jīng)營范圍涉及行業(yè)許可的憑許可證件，在有效期限內(nèi)經(jīng)營，國家有專項專營規(guī)定的按規(guī)定辦理）（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動）
天津中環(huán)電爐股份有限公司成立于1993年，坐落于天津市北辰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，公司是集研發(fā)、制造、營銷于一體的生產(chǎn)制造型高新技術(shù)企業(yè)，以實驗室電爐、工業(yè)電爐及熱分析儀器為產(chǎn)品核心，其中實驗室電爐280余種，工業(yè)爐2大系列，熱分析類儀器30余種。在科研院所、知名高校和重點領(lǐng)域企業(yè)累計用戶上萬家。公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于金屬材料、特種陶瓷、復(fù)合材料、半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料領(lǐng)域。2017年中環(huán)電爐成功登陸全國中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)（證券代碼...