在追求精度的精密檢測(cè)與半導(dǎo)體設(shè)備中，平臺(tái)的重量、剛性、熱穩(wěn)定性，直接影響定位速度與重復(fù)精度。傳統(tǒng)金屬結(jié)構(gòu)平臺(tái)，往往存在重量大、熱脹冷縮明顯、長(zhǎng)期使用易磨損的短板。廈門越昌科技推出的氧化鋁陶瓷版本XY氣浮直線電機(jī)平臺(tái)-朱竹清又緊又深又濕又爽メイリン モデルコレクション メイ|精品國(guó)產(chǎn)一二三，以輕量化陶瓷材料、氣浮無(wú)接觸運(yùn)動(dòng)與直線電機(jī)直驅(qū)相結(jié)合，為高端檢測(cè)場(chǎng)景提供更優(yōu)的精密運(yùn)動(dòng)解決方案。

　　01 陶瓷本體，剛性與熱穩(wěn)定兼得

　　氧化鋁陶瓷密度低、剛度高、熱膨脹系數(shù)小，可在保證平臺(tái)剛性的同時(shí)大幅減重，降低慣量、提升響應(yīng)速度。陶瓷材料自身形變與溫漂小，能在溫度波動(dòng)環(huán)境中維持穩(wěn)定的定位基準(zhǔn)，適合對(duì)熱穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛的檢測(cè)與加工場(chǎng)景。

　　02 XY氣浮直線電機(jī)直驅(qū)，無(wú)摩擦高精度

　　平臺(tái)X、Y兩軸采用氣浮導(dǎo)軌與直線電機(jī)直驅(qū)，無(wú)機(jī)械接觸、無(wú)傳動(dòng)間隙，消除爬行與磨損帶來(lái)的精度衰減。配合高精度光柵閉環(huán)反饋，可實(shí)現(xiàn)微米乃至亞微米級(jí)重復(fù)定位，XY兩軸協(xié)同聯(lián)動(dòng)，適合大面積工件全域掃描、多點(diǎn)位自動(dòng)對(duì)位檢測(cè)。

　　03 應(yīng)用場(chǎng)景與落地案例

　　該平臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、光學(xué)元件輪廓測(cè)量、激光微納加工對(duì)位、高校科研微納觀測(cè)等場(chǎng)景。實(shí)際案例中，某光學(xué)企業(yè)需對(duì)精密鏡片做二維輪廓掃描，要求平臺(tái)輕量高速、點(diǎn)位切換準(zhǔn)確。我們提供氧化鋁陶瓷XY氣浮平臺(tái)，雙軸高速平穩(wěn)聯(lián)動(dòng)，鏡片全域輪廓一次采集完成，檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)一致性顯著提升，解決了金屬平臺(tái)慣性大、溫漂導(dǎo)致的測(cè)量偏差問(wèn)題。

　　針對(duì)不同客戶的行程、負(fù)載、精度等級(jí)，我們支持非標(biāo)定制，從陶瓷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、氣浮節(jié)流、反饋選配到整機(jī)校準(zhǔn)調(diào)試一站式交付，并結(jié)合現(xiàn)場(chǎng)工況提供選型技術(shù)支持。

　　如果您需要一款輕量、高剛性、高穩(wěn)定的XY精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，歡迎聯(lián)系廈門越昌科技，獲取氧化鋁陶瓷XY氣浮直線電機(jī)平臺(tái)定制方案。