氦質(zhì)譜檢漏儀檢測是指對氦質(zhì)譜檢漏儀Zui小可檢漏率、響應(yīng)時間、本底噪聲及檢漏靈敏度等指標(biāo)進(jìn)行校準(zhǔn)評定的過程，通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔法與真空系統(tǒng)測試判定儀器性能是否合格。其意義在于保證檢漏精度與可靠性，防止漏檢誤檢，規(guī)范真空檢漏儀器質(zhì)量。

檢測范圍

檢測項目

1. Zui小可檢漏率：≤5×10?12Pa·m3/s

2. 響應(yīng)時間：≤1s

3. 本底噪聲：≤1×10?1?Pa·m3/s

4. 檢漏靈敏度：≥1×10?12Pa·m3/s

5. 校準(zhǔn)漏孔：可溯源至國家基準(zhǔn)

6. 啟動穩(wěn)定時間：≤30min

7. 質(zhì)譜室工作真空：≤1×10?2Pa

8. 示值重復(fù)性：≤±10%

9. 示值誤差：≤±10%

10. 整機氣密性：無外漏

檢測標(biāo)準(zhǔn)

上述標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氦質(zhì)譜檢漏儀Zui小可檢漏率、響應(yīng)時間、本底噪聲及示值誤差要求，檢測時應(yīng)按 GB/T 13979 考核產(chǎn)品技術(shù)要求，按GB/T 18193 執(zhí)行校準(zhǔn)方法，按 JJF 1833 核查漏孔溯源，按 GB/T 11813 考核燃料棒檢漏應(yīng)用，按 GB/T4982 與 GB/T 6071 考核法蘭連接，確保檢漏儀靈敏準(zhǔn)確。

常見 FAQ 問答

1. 氦質(zhì)譜檢漏為什么選用氦氣作示蹤？氦氣分子量小滲透性強，空氣本底低噪聲小。氦氣惰性無毒不燃爆，是真空檢漏理想示蹤氣體。

2. Zui小可檢漏率數(shù)值大小代表什么？它表示儀器能檢出的Zui小泄漏量，數(shù)值越小靈敏度越高。 高精度檢漏儀可達(dá)10?12Pa?m3/s，用于半導(dǎo)體真空器件。

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀為何需要定期校準(zhǔn)？質(zhì)譜燈絲老化與靈敏度漂移會導(dǎo)致檢漏結(jié)果失準(zhǔn)。每年用可溯源標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)一次，才能保證示值準(zhǔn)確。

4. 真空法檢漏與吸槍法有何區(qū)別？真空法抽工件噴氦找漏點，靈敏度高適合小腔體。吸槍從外部噴氦探測，適合大容器與現(xiàn)場在線檢漏。

5. 本底噪聲對檢漏結(jié)果有何影響？空氣中殘留氦氣會形成本底干擾，掩蓋微小漏信號。本底噪聲越低越易發(fā)現(xiàn)微漏，直接決定檢漏靈敏度下限。

【儀器設(shè)備】

現(xiàn)配有X射線熒光光譜儀（XRF）、阿貝折射儀、閉口閃點自動測定儀、紅外光譜儀（IR）、火焰光度計、快速溶劑萃取儀、電感耦合等離子體光譜儀（ICP）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、頂空氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(HS-GCMS）、捕集阱頂空-氣質(zhì)聯(lián)用儀(PT-GCMS)、恒溫恒濕系統(tǒng)、離子色譜儀（IC)、氣相色譜儀（GC）、氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀（GCMS）、氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀（熱裂解）GC-MS(PY)、熱脫附-GCMS、示波極譜儀等、天平、微波消解儀、顯微紅外光譜儀（FT-IR）、顯微鏡、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、液相色譜串聯(lián)質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、紫外可見分光光度計（UV)、液相色譜儀、原子熒光（AFS）、熒光白度計、原子吸收光譜（AAS)。

【資質(zhì)證書】

已獲得檢驗檢測機構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書（CMA資質(zhì)證書）、中國合格評定國家認(rèn)可委員會實驗室認(rèn)可證書（CNAS資質(zhì)證書）、農(nóng)產(chǎn)品質(zhì)量安全檢測機構(gòu)考核合格證書（CATL資質(zhì)證書）、質(zhì)量管理體系、環(huán)境管理體系、職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證證書等資質(zhì)證書。直屬機構(gòu)安徽清析司法鑒定所獲批頒發(fā)的司法鑒定許可證、并通過司法鑒定科學(xué)研究院34項能力驗證。

【服務(wù)客戶】

我院每年出具超過20000份報告，累計服務(wù)客戶45000多家，客戶類型包含公司單位、高校及科研院所、500強企業(yè)、跨國公司等。