鈮靶材測(cè)試可通過正規(guī)檢測(cè)機(jī)構(gòu)辦理，用于評(píng)估鈮靶材的純度、致密度、晶粒均勻性、表面平整度、力學(xué)性能、濺射性能及耐腐蝕性是否達(dá)標(biāo)，出具的專業(yè)報(bào)告可用于半導(dǎo)體芯片、薄膜沉積、光學(xué)鍍膜、電子元器件、高端精密制造等場景合規(guī)驗(yàn)收。鈮靶材是高端鍍膜核心濺射材料，純度、致密度與晶粒均勻性直接決定鍍膜均勻度、附著力與成品良率，指標(biāo)不達(dá)標(biāo)易出現(xiàn)鍍膜不均、顆粒缺陷、濺射穩(wěn)定性差、膜層脫落等問題，影響高端電子器件精度與性能。第三方鈮靶材檢測(cè)可嚴(yán)苛核驗(yàn)高端靶材精密指標(biāo)，滿足半導(dǎo)體及精密制造質(zhì)控要求。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)參考

1、GB/T 26018-2010 高純鈮及鈮合金靶材通用技術(shù)條件

2、GB/T 13298-2015 金屬顯微組織檢驗(yàn)方法

3、GB/T 228.1-2021 金屬材料拉伸試驗(yàn)

4、GB/T 4340.1-2009 維氏硬度測(cè)試

5、ASTM F1580 濺射靶材純度與性能測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

檢測(cè)項(xiàng)目

鈮純度、雜質(zhì)元素含量、體積密度、致密度、晶粒尺寸、晶粒均勻性、表面粗糙度、抗拉強(qiáng)度、硬度、平整度、濺射均勻性、耐腐蝕性

檢測(cè)范圍

高純鈮靶材、鈮合金靶材、平面鈮靶材、旋轉(zhuǎn)鈮靶材、半導(dǎo)體專用鈮靶材、鍍膜鈮靶材

檢測(cè)周期

7-10 個(gè)工作日（精密靶材檢測(cè)，可加急）

檢測(cè)流程

1 委托方提交檢測(cè)申請(qǐng)，提供鈮靶材樣品及產(chǎn)品參數(shù)

2 檢測(cè)機(jī)構(gòu)核驗(yàn)樣品，制定高純靶材精密檢測(cè)方案

3 開展成分純度、組織結(jié)構(gòu)、力學(xué)與濺射性能測(cè)試

4 精密數(shù)據(jù)分析，核驗(yàn)高端靶材指標(biāo)

5 出具權(quán) 威檢測(cè)報(bào)告，提供靶材選型工藝咨詢

檢測(cè)優(yōu)勢(shì)

【專業(yè)技術(shù)人才】

擁有超過 700 名專業(yè)人員，其中技術(shù)團(tuán)隊(duì) 90% 以上畢業(yè)于國家 “985”“211”等重點(diǎn)高校，具有碩士、博士學(xué)位。

【專業(yè)儀器設(shè)備】

500余臺(tái)（套）專業(yè)儀器設(shè)備，包括紅外光譜（IR）、核磁共振（NMR）、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、電感耦合等離子體發(fā)射質(zhì)譜儀（ICP-MS）、液相二級(jí)質(zhì)譜（LC-MS-MS）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜儀（GC）、X射線熒光光譜 (XRF)、ASE 快速溶劑萃取儀等；

【資質(zhì)認(rèn)可】

獲得中國合格評(píng)定國家認(rèn)可委員會(huì)頒發(fā)的實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書（CNAS）、質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局頒發(fā)的檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書（CMA）。

【服務(wù)客戶】

累計(jì)為公檢法單位、高校及科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)等超過 10 萬家客戶提供咨詢、分析、檢測(cè)、測(cè)試、鑒定研發(fā)等技術(shù)服務(wù)。