電子級正己烷——從硅片表面清洗到聚合反應(yīng)溶劑的多元應(yīng)用

正己烷作為低沸點烴類溶劑，在半導(dǎo)體硅片表面的油脂類顆粒清洗和光刻膠樹脂的溶液聚合反應(yīng)中均有應(yīng)用。其快速揮發(fā)特性使得清洗后的硅片無需高溫烘烤即可進(jìn)入下一道工序。山東安達(dá)化工電子級正己烷的純度≥99.5%（含異構(gòu)體），水分≤0.01%，芳烴≤10ppm，不揮發(fā)物≤2ppm，硫≤1ppm。

在半導(dǎo)體光刻膠樹脂的合成中，正己烷常作為沉淀劑或聚合反應(yīng)溶劑使用。其純度直接影響樹脂的分子量分布和透光率。山東安達(dá)化工通過加氫脫芳和5A分子篩吸附工藝，將產(chǎn)品的紫外吸光度（在200nm處）控制在0.1以下，確保不會在樹脂中引入紫外吸收雜質(zhì)。

對于使用正己烷進(jìn)行硅片蒸汽干燥工藝的客戶，山東安達(dá)化工還可提供更高純度的“色譜級”規(guī)格產(chǎn)品，其雜質(zhì)峰數(shù)量在GC-FID檢測條件下不超過5個，總雜質(zhì)峰面積≤0.5%。產(chǎn)品包裝為鍍錫鐵桶或高純鋁瓶。