氟化氣檢測(cè)用于對(duì)各類場(chǎng)景中氟化氣的品質(zhì)、安全性及合規(guī)性進(jìn)行評(píng)估，檢測(cè)對(duì)象涵蓋工業(yè)、電子、化工等領(lǐng)域使用的氟化氣樣品，具備精準(zhǔn)性、合規(guī)性強(qiáng)的特性，可幫助客戶掌握氟化氣的質(zhì)量狀態(tài)，避免因品質(zhì)不達(dá)標(biāo)引發(fā)的生產(chǎn)故障、安全隱患或環(huán)保違規(guī)問(wèn)題，是保障生產(chǎn)安全、產(chǎn)品質(zhì)量及環(huán)境合規(guī)的重要手段，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工合成、光伏產(chǎn)業(yè)等多個(gè)領(lǐng)域。
檢測(cè)范圍：
工業(yè)級(jí)氟化氣、電子級(jí)氟化氣、高純氟化氣、特種氟化氣、電子特氣氟化氣、化工合成用氟化氣、光伏制造用氟化氣、半導(dǎo)體蝕刻用氟化氣、制冷行業(yè)氟化氣、焊接保護(hù)用氟化氣、氣體純化用氟化氣、環(huán)境監(jiān)測(cè)用氟化氣
檢測(cè)周期與費(fèi)用：
到樣后5-7個(gè)工作日（可加急），具體費(fèi)用根據(jù)檢測(cè)項(xiàng)目和樣品量與工程師對(duì)接報(bào)價(jià)
常見問(wèn)題：
問(wèn): 某半導(dǎo)體企業(yè)氟化氣純度不達(dá)標(biāo)導(dǎo)致蝕刻良率低，如何解決？
答:曾有一家半導(dǎo)體封裝企業(yè)因氟化氣雜質(zhì)含量超標(biāo)，導(dǎo)致晶圓蝕刻良率降至72%，經(jīng)檢測(cè)鎖定雜質(zhì)組分后更換高純氟化氣，良率恢復(fù)至96%以上。
問(wèn): 化工企業(yè)氟化氣排放超標(biāo)被預(yù)警，該如何處理？
答: 曾有一家精細(xì)化工企業(yè)因氟化氣排放濃度超出限值被預(yù)警，經(jīng)檢測(cè)確定管道泄漏點(diǎn)后調(diào)整密封工藝，整改后排放濃度達(dá)標(biāo)。
問(wèn): 檢測(cè)樣品需要準(zhǔn)備多少量？
答: 常規(guī)檢測(cè)需準(zhǔn)備500ml以上樣品，特殊檢測(cè)項(xiàng)目可根據(jù)需求調(diào)整樣品量。
問(wèn): 檢測(cè)報(bào)告可用于哪些場(chǎng)景？
答: 可用于生產(chǎn)過(guò)程質(zhì)控、產(chǎn)品貿(mào)易合規(guī)、環(huán)保驗(yàn)收及安全評(píng)估等場(chǎng)景。
問(wèn): 可以提供上門取樣服務(wù)嗎？
答: 是的，可根據(jù)客戶需求提供全國(guó)范圍內(nèi)的專業(yè)上門取樣服務(wù)。
問(wèn): 檢測(cè)結(jié)果的有效期是多久？
答: 常規(guī)檢測(cè)結(jié)果有效期為6個(gè)月，具體需結(jié)合使用場(chǎng)景確認(rèn)。
檢測(cè)流程：
1、溝通需求
2、寄樣或上門取樣
3、樣品前處理
4、實(shí)驗(yàn)檢測(cè)
5、數(shù)據(jù)審核分析
6、編制檢測(cè)報(bào)告
7、報(bào)告交付客戶
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)參考：
1、GB/T 31020-2014 電子工業(yè)用氣體 氟化氫
2、HG/T 3792-2005 工業(yè)氟氣
3、GB/T 28211-2011 半導(dǎo)體器件用氣體 氟氣
4、GB 16297-1996 大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)
儀器設(shè)備：
實(shí)驗(yàn)室設(shè)施完備，500余臺(tái)（套）專業(yè)儀器設(shè)備，包括紅外光譜（IR）、核磁共振（NMR）、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、電感耦合等離子體發(fā)射質(zhì)譜儀（ICP-MS）、液相二級(jí)質(zhì)譜（LC-MS-MS）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜儀（GC）、X射線熒光光譜(XRF)、ASE快速溶劑萃取儀等；。
服務(wù)模式：
提供上門采樣、加急檢測(cè)、非標(biāo)方法開發(fā)與驗(yàn)證等服務(wù)，滿足客戶多樣化需求。自覺接受市場(chǎng)監(jiān)督管理部門、客戶及社會(huì)各界的監(jiān)督，對(duì)客戶咨詢與投訴及時(shí)響應(yīng)、答復(fù)并處理。
檢測(cè)項(xiàng)目：
純度、雜質(zhì)含量、水分含量、氧含量、氮含量、酸度、顆粒物含量、腐蝕性、可燃性、化學(xué)穩(wěn)定性、排放濃度、環(huán)境兼容性
上海復(fù)達(dá)檢測(cè)集團(tuán)的優(yōu)勢(shì)：
上海復(fù)達(dá)檢測(cè)集團(tuán)專注分析、檢測(cè)、測(cè)試、研發(fā)、鑒定五大服務(wù)領(lǐng)域，集團(tuán)公司具備CMA、CNAS等資質(zhì)證書。擁有超過(guò)700名專業(yè)人員，500余臺(tái)（套）專業(yè)儀器設(shè)備，包括紅外光譜（IR）、核磁共振（NMR）、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜儀（GC）、X射線熒光光譜(XRF)等。服務(wù)面向全國(guó)，在上海、北京、天津、石家莊、成都、西安、太原、沈陽(yáng)、濟(jì)南、南京、蘇州、杭州、合肥、鄭州、武漢、長(zhǎng)沙、廣州、深圳等地區(qū)均設(shè)有分部。累計(jì)為公檢法單位、高校及科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)等超過(guò)10萬(wàn)家客戶提供咨詢、分析、檢測(cè)、測(cè)試、鑒定研發(fā)等技術(shù)服務(wù)。