概要  氣體質(zhì)量流量控制器（Mass FlowController，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。MFC出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。 質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（FullScale）：滿量程值

產(chǎn)品特點(diǎn)本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

輸入輸出信號(hào)0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

應(yīng)用行業(yè) 化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

質(zhì)保與服務(wù)我公司承諾對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項(xiàng)，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換新品。在保修期外，我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)。維修和維護(hù)后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。

規(guī)格參數(shù)型號(hào)SQC-200

型號(hào)SQC-200

流量量程(N2)0~20,30,50,100,150,200SLM0~20,30,50,100,,300SLM精度±2%F.S.控制閥動(dòng)作型式常閉式線性±2%F.S.重復(fù)精度±0.2%F.S.響應(yīng)時(shí)間≤5sec輸入輸出信號(hào)1~5V;4~20mA電氣接頭DB15 pin(針形)工作環(huán)境溫度5~45℃工作壓差0.1~0.3MPa(MFC);0.05~3.0MPa(MFM)漏率1*10-8SCCS(He)Zui大耐壓3MPa介質(zhì)接觸材質(zhì)316不銹鋼和密封材料密封材料氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封接頭尺寸Swagelok 3/8",1/2";φ8,φ10,φ12mm電源要求24V,0.5A