四甲基氫氧化銨（Tetramethylammoniumhydroxide，簡稱TMAH，CAS：75-59-2；五水合物 CAS：10424-65-4）是一種無色至淡黃色透明液體（25%水溶液）或白色吸濕性結(jié)晶（無水物/五水物）、具強(qiáng)烈氨樣嗅味的季銨強(qiáng)堿（分子式 (CH?)?NOH，MW≈91.15；五水合物 (CH?)?NOH·5H?O，MW≈181.23）。分子由四甲基銨陽離子 [(CH?)?N]?與 OH? 離子對構(gòu)成，無游離氨基，堿性強(qiáng)度與 NaOH/KOH 相當(dāng)（25%水溶液 pH≈13～14）但無金屬離子污染；極易溶于水、甲醇、醇，不溶于、苯、；空氣中迅速吸CO? 成碳酸鹽，加熱>130℃分解為三+甲醇（熱分解無固體殘留）；屬第8類腐蝕品兼第6.1類劇毒品（UN3286，PG Ⅱ），強(qiáng)堿腐蝕+經(jīng)皮/經(jīng)口極毒（神經(jīng)毒、呼吸肌麻痹），需密封、防潮、避光、陰涼（≤30℃）儲存，嚴(yán)禁與酸、強(qiáng)氧化劑、CO?接觸。

四甲基氫氧化銨（TMAH / 氫氧化四甲銨）

CASNo.： 75-59-2（無水）；10424-65-4（五水合物 TMAH·5H?O）

分子式： (CH?)?NOH

分子量： 91.15（無水）/181.23（五水）

EINECS： 200-882-9

產(chǎn)品基本信息

常溫工業(yè)形態(tài)主要是無色透明水溶液（常見 2.38%、10%、25%）或白色極易潮解結(jié)晶（五水合物）。屬季銨堿，堿性強(qiáng)度與 NaOH/KOH 相當(dāng)（25% 水溶液 pH≈14），但不含金屬陽離子，這是它在半導(dǎo)體工藝中buketidai的核心原因。極易溶于水、甲醇、醇，微溶于非極性溶劑。強(qiáng)吸濕、易吸收空氣中CO? 生成碳酸鹽，受熱（>130℃）分解為三、甲醇等。

主要用途

半導(dǎo)體與面板（核心）：正性光刻膠標(biāo)準(zhǔn)顯影液（2.38% 水溶液）；硅片各向異性濕法刻蝕（MEMS、金字塔絨面、CMOS 清洗）；無金屬離子污染是其相對 NaOH 的Zui大優(yōu)勢。

有機(jī)合成與催化：強(qiáng)堿催化劑（酯交換、縮合、脫保護(hù)）、相轉(zhuǎn)移催化劑、有機(jī)硅聚合無灰催化劑（加熱完全分解無殘留）。

分析化學(xué)：GC 羧酸甲酯化衍生試劑、極譜分析支持電解質(zhì)、滴定基準(zhǔn)堿。

安全與環(huán)保

GHS分類：GHS05（皮膚腐蝕 1B/ 嚴(yán)重眼損傷 1）＋GHS06（急性毒性 經(jīng)口 Cat.2 H300 / 經(jīng)皮 Cat.2H310 / 吸入 Cat.3 H331）＋GHS08（STOT SECat.1 H370 中樞神經(jīng)/呼吸肌 /STOT RE Cat.1 H372）＋GHS09（水生急性 2/ 長期 2，H411），信號詞危險（Danger）

健康危害（Zui易被低估的“隱形殺手”）：

大鼠口服 LD??（25% 液）≈19～50 mg/kg，兔經(jīng)皮 LD??≈ 110 mg/kg，屬劇毒級；25% 液皮膚接觸 10 分鐘即可能致死；

強(qiáng)堿腐蝕：致皮膚/角膜深度灼傷、液化壞死、失明；

全身毒（核心特殊風(fēng)險）：經(jīng)皮/吸入吸收后，除強(qiáng)堿作用外，可抑制細(xì)胞色素氧化酶、干擾能量代謝、抑制酰膽堿酯酶，引起頭痛、肌肉震顫、喉痙攣、呼吸肌麻痹、多器官衰竭，癥狀可延遲數(shù)小時出現(xiàn)；無texiao解毒劑，需早期螯合/支持治療；

長期暴露致肝、腎、胸腺損傷。

物理/化學(xué)危險：

水溶液本身不燃，但甲醇溶液閃點≈27℃（低閃點易燃）；受熱分解釋放三、NO?、NH? 等有毒堿性煙霧；

與強(qiáng)酸劇烈中和放熱，與酸酐/?；?金屬鹵化物不相容；對鋁、鋅等兩性金屬有輕微腐蝕產(chǎn)氫。

環(huán)境危害： WGK3 級，強(qiáng)堿性+季銨氮對水生生物劇毒（藻類 EC??<10 mg/L），嚴(yán)禁直排下水道/自然水體，需中和至 pH 6～9后經(jīng)生化處理。

操作與儲存（關(guān)鍵：A級防經(jīng)皮/吸入、防 CO? 變質(zhì)、水溶液按腐蝕品+毒害品雙重管控、甲醇溶液按易燃腐蝕品）

儲存：

水溶液：聚烯/PP/PTFE 桶裝，存于陰涼（≤30℃）、通風(fēng)、干燥庫房，嚴(yán)格密封充氮或內(nèi)蓋+外蓋防吸 CO? 變質(zhì)；

五水固體：-20℃～25℃ 避光密封防潮，與強(qiáng)酸、強(qiáng)氧化劑、食品飼料分庫存放，專庫加鎖（P405）；

甲醇溶液按第3+8類管理（UN2924 PG II），防爆電氣+防靜電；

濃度判定運輸編號：>2.5% 水溶液 UN1835（8類PG II），≤2.5%UN 1835 PG III，固體UN 3423（6.1類 PGI）。

操作防護(hù)：

密閉操作＋強(qiáng)力局部排風(fēng)（甚至負(fù)壓），半導(dǎo)體級建議在濕臺/顯影機(jī)閉環(huán)系統(tǒng)內(nèi)使用；

佩戴ABEK 濾毒罐防毒面具（或 SCBA 高濃度時）、面屏+護(hù)目鏡、丁基橡膠手套（禁用天然乳膠/薄丁腈，需雙層）、防化服/圍裙；

嚴(yán)禁裸手接觸，皮膚濺到立即沖；工作場所禁飲食吸煙，配洗眼器+沖淋+2% 硼酸/稀醋酸應(yīng)急洗消；

操作者班前班后洗澡更衣，孕婦禁忌。

急救（時間就是生命，TMAH 經(jīng)皮可致死）：

皮膚：立即脫污衣，大量流動水沖洗 ≥15 min（邊沖邊脫），繼用稀醋酸或檸檬酸濕敷中和，立即送醫(yī)并明示“TMAH 經(jīng)皮中毒，警惕呼吸肌麻痹”；

眼睛：提眼瞼用流動水或生理鹽水沖 ≥15 min，立即眼科急診；

吸入：移上風(fēng)向空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，給氧，立即送醫(yī)（即便無癥狀也留觀24h）；

食入：漱口，勿催吐，飲牛奶/蛋清，立即送醫(yī)（需監(jiān)測血氣與肌力）。

泄漏應(yīng)急：

撤非必要人員，戴 SCBA＋A級防化服＋丁基手套；

小量用砂土/惰性吸附棉吸收收集；大量用泡沫覆蓋防霧散，用塑料泵收至專用容器；

殘余用稀酸（醋酸/）緩慢中和至 pH7～9 后送廢水站，嚴(yán)禁入下水道/水體；

甲醇溶液泄漏額外按易燃液體防爆處理。

滅火：

水溶液：用霧狀水、砂土；甲醇溶液用抗溶性泡沫、干粉、CO?；

消防人員戴 SCBA＋防毒服防 三/NO? 毒煙；噴水冷卻容器，滅火廢水專池處理。