氧化硅是一種無機化合物，化學式為SiO，常溫常壓下為黑棕色至黃土色無定形粉末，熔點1702℃，沸點1880℃，密度2.13g/cm3，難溶于水，能溶于稀的混酸中并放出四氟化硅，在空氣中加熱時生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太穩(wěn)定，在空氣中會氧化成二氧化硅。當一氧化硅蒸氣緩慢冷凝時會歧化（見歧化反應）而成硅和二氧化硅。

一氧化硅微粉末因極富有活性，可作為精細陶瓷合成原料，如氮化硅、碳化硅精細陶瓷粉末原料。用作光學玻璃和半導體材料的制備。

在真空中將其蒸發(fā)，涂在光學儀器用的金屬反射鏡面上，作為保護膜。半導體材料的制備。