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工業(yè)溫壓測量領(lǐng)域定制化解決方案服務(wù)商 

凱拓嘉業(yè)科技,深耕工業(yè)測量領(lǐng)域多年,以全域定制為核心導(dǎo)向,致力于成為壓力、差壓、液位、溫度測量解決方案的專業(yè)整合服務(wù)商。我們專注多品類測量儀表定制化設(shè)計(jì)、高效落地與全周期服務(wù),深度整合行業(yè)優(yōu)質(zhì)資源與技術(shù),為國內(nèi)外各行業(yè)客戶提供適配性強(qiáng)、穩(wěn)定可靠的溫壓測量產(chǎn)品。旗下曉鳴XM520系列壓力與溫度產(chǎn)品,憑借務(wù)實(shí)創(chuàng)新技術(shù),助力客戶從容應(yīng)對各類工業(yè)測量場景挑戰(zhàn),以專業(yè)實(shí)力賦能工業(yè)智能化升級,為客戶創(chuàng)造可持續(xù)價(jià)值。

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主要產(chǎn)品包括:通用型壓力變送器、高溫型壓力變送器、平面膜型壓力變送器、衛(wèi)生型壓力變送器、高溫熔體用型壓力變送器、氫氣壓力變送器、單晶硅壓力變送器、半導(dǎo)體用超高純VCR壓力變送器、超高壓壓力變送器、液位變送器、差壓變送器、單法蘭液位變送器、雙法蘭遠(yuǎn)傳變送器、投入式液位變送器、溫度變送器、熱電阻、熱電偶、雙金屬溫度計(jì)、溫度變送器模塊、渦街流量傳感器等各類測量產(chǎn)品。

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凱拓嘉業(yè)定制款VCR超高純氣體壓力變送器(半導(dǎo)體型)

一、應(yīng)用背景

半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中,壓力變送器需長期接觸高腐蝕性、有毒性甚至自燃性(室溫條件下易燃)的工藝氣體。以硅襯底表面沉積層狀材料的化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝為例,芯片微觀電路制造步驟具有高度敏感性,對生產(chǎn)環(huán)境純凈度要求嚴(yán)格,需維持高潔凈標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)從根源上規(guī)避氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn),保障生產(chǎn)安全與產(chǎn)品良率。

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二、產(chǎn)品設(shè)計(jì)理念

半導(dǎo)體生產(chǎn)對壓力測量技術(shù)有嚴(yán)格應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),對應(yīng)壓力變送器需采用超高純(UHP)專屬設(shè)計(jì)。凱拓嘉業(yè)科技針對半導(dǎo)體行業(yè)特殊應(yīng)用需求,定向推出適配該領(lǐng)域的VCR 超高純氣體壓力變送器,專為半導(dǎo)體行業(yè)超高純氣體系統(tǒng)打造。

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三、核心產(chǎn)品特性

1、連接與密封:采用標(biāo)準(zhǔn)螺紋 VCR 接頭或其他定制規(guī)格,實(shí)現(xiàn)低泄漏率;全系列產(chǎn)品均通過氦泄漏專項(xiàng)檢測,重點(diǎn)檢測變送器與現(xiàn)場應(yīng)用的連接部位及密封節(jié)點(diǎn),保障過程連接的密封性與安全性。

2、電氣配置:提供 0-5VDC、0-10VDC、4-20mA 等多種輸出類型,支持M12、電纜連接等多種電氣連接方式,適配不同現(xiàn)場應(yīng)用需求。

3、材質(zhì)與工藝:選用 17-4、316L、316L VIM/VAR等多種不銹鋼材質(zhì)制造,腔體經(jīng)鈍化拋光處理,確保表面平整,具備良好的耐化學(xué)腐蝕性能。

4、生產(chǎn)環(huán)節(jié)全程依托百級潔凈車間,潔凈標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛;接液部分經(jīng)電解拋光處理,表面光潔度Ra≤0.20μm,潔凈度出眾,確保壓力變送器以無污染狀態(tài)交付至客戶潔凈室,適配半導(dǎo)體生產(chǎn)的嚴(yán)苛環(huán)境。

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四、適用領(lǐng)域

產(chǎn)品可應(yīng)用于半導(dǎo)體、高純度氣體系統(tǒng)、特氣柜、特氣分配閥、半導(dǎo)體、光伏制造設(shè)備、電子、醫(yī)療、生物技術(shù)及制藥工業(yè)等領(lǐng)域。

 

凱拓嘉業(yè)科技XM520VCR定制款產(chǎn)品

XM520VCR定制款壓力傳感器用途遍及半導(dǎo)體工藝的氣體各個(gè)監(jiān)測系統(tǒng)

l 如半導(dǎo)體、光伏、顯示面板行業(yè)高純氣體輸送系統(tǒng)壓力監(jiān)測;

l 用于惰性氣體、有毒有害氣體、易燃易爆氣體壓力監(jiān)測;

l 現(xiàn)場過程壓力測量

l 吹掃氣體傳輸系統(tǒng)壓力測量

l 傳送室壓力測量和控制

l 潔凈室空氣控制

l 泄漏檢測

l 通風(fēng)柜控制

l 激光干涉儀

l 太陽能等新能源

l 用于OEM工具的氣體面板

l 高純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)(各種氣體控制單元、大宗氣體供應(yīng)和儲罐區(qū)安裝)

l UHP 超高純變送器、UHP 潔凈型壓力傳感器、VCR 接口 UHP測量方案、半導(dǎo)體 UHP 特氣監(jiān)測儀表

IMG_5336.jpg凱拓嘉業(yè)科技定制款XM520VCR產(chǎn)品特性:

 

l XM520VCR壓力傳感器 緊湊精巧,專為空間受限場景量身打造,安裝靈活便捷。搭載 0.25% F.S.高精度壓力測量技術(shù),輔以抗干擾屏蔽與信號降噪專屬電子方案,既保障壓力測量的精準(zhǔn)度,更實(shí)現(xiàn)長效穩(wěn)定性。

l 產(chǎn)品采用全不銹鋼結(jié)構(gòu),可靠性拉滿,每臺均經(jīng)過48小時(shí)滿量程保壓測試,品質(zhì)層層嚴(yán)控。生產(chǎn)環(huán)節(jié)全程依托百級潔凈車間,潔凈標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛;接液部分經(jīng)電解拋光處理,表面光潔度Ra≤0.20μm,潔凈度出眾。

l 適配多種 VCR 螺紋密封連接接頭,內(nèi)螺紋、外螺紋、固定螺紋、活動螺紋全覆蓋,滿足多元安裝需求。接液材質(zhì)精選17-4、316L、316L (VIM/VAR)不銹鋼及 HC 材質(zhì),適配嚴(yán)苛工況。

l 智能化一鍵調(diào)零設(shè)計(jì),大幅提升客戶現(xiàn)場操作便捷性。

l 增安認(rèn)證可選,合規(guī)適配更多場景。

l 全焊接結(jié)構(gòu)搭配 VCR 過程連接,選材考究精良,兼具超強(qiáng)密封性與耐腐蝕性。為半導(dǎo)體領(lǐng)域高純介質(zhì)壓力監(jiān)測與測量打造,適配各類嚴(yán)苛應(yīng)用需求。

l 超高純壓力變送機(jī)組裝制造完成后,依次經(jīng)過去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾?、精?zhǔn)烘干、雙層包裝、氮?dú)獬渥⒚芊獾榷嗟谰?xì)工序,方可出廠;同時(shí)完成氦氣檢漏,并在潔凈室內(nèi)完成真空包裝,從源頭杜絕污染。

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凱拓嘉業(yè)科技XM520VCR基本參數(shù):

被測介質(zhì):氣體(對 316L 不銹鋼不腐蝕的流體)

壓力類型:密封參考壓力、通氣表壓力

測量范圍:真空 0~1Torr,0~10Torr,0~100Torr,0~1000Torr,允許10倍抗過載能力

高純-30HG-160psi、250psi、500psi、3000psi、5000psi

高純0-160psiA、250psiA、500psiA、3000psiA

接液材質(zhì):316(VIM+VAR)、哈氏合金供電

電源:13-30VDC 

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外殼材質(zhì):304/316L                                      

精度(恒溫下):±0.25%F.S.,±0.5%F.S或定制.               

輸出信號:4~20mA、0~10VDC、0~5VDC可選擇

工作介質(zhì)溫度:-20~+80℃

過程接口:KF16、VCR1/4外、VCR1/4內(nèi)、C-Seal、W-Seal等                                       

電氣連接:四芯屏蔽電纜(防護(hù)等級IP65)、航空插頭、DB9、DB15等

接液粗糙度:Ra≤0.15μm(典型值);Ra≤0.18 μm(Zui大值)

氣密性測試:<1 x 10Pa.m3/sec

安全過載壓力:150%FS (1.5 倍滿量程)      

工作溫度:-20~85℃                                      

其他:如校驗(yàn)證書,線纜,定制接頭等更多定制化選項(xiàng),

認(rèn)證:可提供CE、SIL2、增安認(rèn)證版本,具體請咨詢我司銷售工程師

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選型舉例:

品牌:凱拓嘉業(yè)科技

型號:XM520VCR11C2-J1

規(guī)格參數(shù) :

測量介質(zhì):

溫度范圍:常溫

介質(zhì)溫度:常溫

測量范圍:-100kPA~20MPa

輸出信號:4-20ma

供電:24V

測量精度:0.5%    

螺紋接口:1/4VCR外螺紋

電氣連接:M12X1航空插座(帶槽)

 

Note: alldesigns and specifications are for reference only and is subject tochange without prior notice.

注:所有設(shè)計(jì)及規(guī)格參數(shù)僅供參考,如有更改恕不另行通知。

 

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更新時(shí)間
統(tǒng)一社會信用代碼
91611105MA6TWMNK92
成立日期
2018年08月22日
法定代表人
李珊
注冊資本
100

主營產(chǎn)品

壓縮機(jī)系統(tǒng),單晶硅差壓變送器,液位變送器,高精度壓力變送器,超高壓壓力變送器,超高純VCR壓力變送器,溫度變送器,車載無油空壓機(jī),新能源汽車空壓機(jī),壓力傳感器,壓力開關(guān),壓力變送器

經(jīng)營范圍

壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)、傳感器、凈化設(shè)備、自動化控制設(shè)備、風(fēng)動工具、泵閥成品及配件的銷售、代理、安裝、調(diào)試、技術(shù)咨詢及售后服務(wù);合同能源管理;計(jì)算機(jī)軟硬件的開發(fā)、銷售及技術(shù)咨詢和技術(shù)服務(wù);機(jī)械設(shè)備、污水處理設(shè)備、儀器儀表、暖通設(shè)備、五金交電、勞保用品、日用百貨、辦公用品、建筑材料(除油漆)、潤滑油、冷卻液、清洗劑、化工產(chǎn)品(易燃易爆等危險(xiǎn)品除外)、鋼材、壓力容器的銷

公司簡介

西安凱拓嘉業(yè)公司創(chuàng)始于2012年,前身為凱拓氣源事業(yè)部,2018年重新注冊為西安凱拓嘉業(yè)智能科技有限公司(Kaituo Jiaye Intelligent Technology Ltd.),注冊資本100萬人民幣,是國內(nèi)的智能傳感技術(shù)與智慧壓縮空氣系統(tǒng)解決方案和服務(wù)提供商。公司自成立以來,凱拓嘉業(yè)始終致力于為廣大客戶提供的國內(nèi)外高端優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),其業(yè)務(wù)活動已經(jīng)遍及全國多個(gè)地區(qū),如今的凱拓嘉業(yè)已經(jīng)成為眾多重點(diǎn)項(xiàng)目建設(shè)的合作伙伴。目前公...

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