卡盤定制系統(tǒng)卡盤類型GY-CP-8HCVGY-CP-12HCVGY-CP-S配套ChillerGY-PCH-803
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GY-PCH-8010W溫度范圍-45℃-200℃-55℃-200℃-45℃-200℃-55℃-200℃-65℃-200℃-65℃-200℃Chiller電源380 VAC ± 10%，三相(可定制)Chiller總功率8.5kW12.5kW8.5kW12.5kW27.5kW27.5kW配套控溫模組DX-CHUCK-3溫度均勻性土0.5℃Chuck加熱能力[email protected]@DC120V3KW@DC48VChuck表面處理鍍鎳/鍍金控溫方式內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，jingquePID調(diào)節(jié)控溫如有其他需求，可非標定制

空氣制冷卡盤系統(tǒng)是一種以壓縮空氣為制冷介質(zhì)的精密溫控設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的晶圓或器件測試環(huán)節(jié)，實現(xiàn)對被測工件的穩(wěn)定夾持與準確溫度控制。無錫冠亞恒溫作為專業(yè)工業(yè)溫控設(shè)備廠家，其GY-CP系列空氣制冷卡盤系統(tǒng)采用純空氣制冷技術(shù)，不使用液體冷媒或帕爾貼元件，具備高可靠性與穩(wěn)定性。

空氣制冷卡盤系統(tǒng)工作原理

系統(tǒng)通過專用冷卻機對壓縮空氣進行溫度調(diào)節(jié)，經(jīng)密閉通道輸送至卡盤內(nèi)部，實現(xiàn)對卡盤平板的均勻冷卻與加熱。配合分布式溫度傳感器與PID+PLC復(fù)合控制算法，可準確控制溫度波動在±0.5℃以內(nèi)，滿足精密測試需求。

空氣制冷卡盤系統(tǒng)主要特點與規(guī)格

· 純空氣制冷，無液體泄漏風(fēng)險，維護簡便

· 溫度范圍覆蓋-65℃至+200℃，支持定制化溫度區(qū)間

· 適配8英寸、12英寸等多種晶圓尺寸，提供非標定制

· 低噪音運行，適合低噪音測試環(huán)境需求

空氣制冷卡盤系統(tǒng)典型應(yīng)用場景

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓變溫電學(xué)測試、功率器件建模、可靠性評估、射頻變溫測試等領(lǐng)域，為晶圓級測試提供穩(wěn)定可靠的溫控平臺。無錫冠亞恒溫憑借多年工業(yè)溫控經(jīng)驗，可為客戶提供從設(shè)備選型到售后維護的全流程服務(wù)，助力提升測試效率與數(shù)據(jù)準確性。