SuperView W11200光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀功能：

1．行業(yè)領(lǐng)域和應(yīng)用對象

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

2．軟件功能

(1)  提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正；

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。

(2)  提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量；

提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數(shù)，參見參數(shù)表：

 

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時間；并可自定義方案，將用戶指定的分析項目組合起來，避免重復(fù)操作。

(6)  便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數(shù)指標(biāo)，實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。

(7)  擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀技術(shù)指標(biāo)：

光源		綠光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024（2048×2048可選）
干涉物鏡		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
光學(xué)ZOOM		1×，（0.5×、0.75×可選）
物鏡塔臺		3孔手動
XY位移平臺	尺寸	320×200mm
	移動范圍	150×110mm
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
水平調(diào)整		±4°手動
Z軸 聚焦	行程	100mm
	Z向掃描范圍		2 mm(可擴展)
Z向分辨率		0.1nm
*大掃描速度		30μm/s
可測樣品反射率		0.5%~100
粗糙度RMS重復(fù)性		0.005nm
臺階測量		準(zhǔn)確度	重復(fù)性
		0.75%	0.1% 1σ

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國ji標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得；

臺階高性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國ji標(biāo)準(zhǔn)在實驗室環(huán)境下測量4.7μm臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。