高純硼檢測(cè) 高純鎂檢測(cè) 高純鎳檢測(cè)-被按在辦公室糟蹋小黃文メイリン モデルコレクション メ|真緊H嘶爽老子Hメイリン モデルコレクション メ  

高純硼、高純鎂、高純鎳全套檢測(cè)方案（4N/5N/6N 半導(dǎo)體 / 靶材級(jí)）

通用基礎(chǔ)說明

純度分級(jí)：4N (99.99%)、5N (99.999%)、6N(99.9999%)，半導(dǎo)體、濺射靶材、新能源、核材料強(qiáng)制全雜質(zhì)篩查

主流高精度檢測(cè)儀器

GDMS 輝光放電質(zhì)譜：固體直接進(jìn)樣，ppb 級(jí)，適合 5N/6N 超高純，一次測(cè) 70 + 金屬雜質(zhì)，無消解污染

HR-ICP-MS 高分辨等離子體質(zhì)譜：粉末 / 酸溶樣品，痕量雜質(zhì)定量，檢出限 ppt 級(jí)

惰性氣體熔融分析儀：測(cè)氣體雜質(zhì) C、O、N、H（高純材料致命指標(biāo)）

碳硫分析儀：總碳 C、總硫 S

報(bào)告資質(zhì)：CMA/CNAS，用于招投標(biāo)、來料質(zhì)檢、半導(dǎo)體客戶驗(yàn)廠、出口報(bào)關(guān)

一、高純鎳檢測(cè)（金屬鎳、鎳靶、鎳粉、電解鎳，標(biāo)準(zhǔn) YS/T 1012-2014、GB/T 8647）

1. 主含量純度判定

鎳基體總量 = ? 全部雜質(zhì)元素總和（GDMS 全掃計(jì)算純度）

2. 金屬痕量雜質(zhì)（GDMS/ICP-MS 必測(cè)，半導(dǎo)體嚴(yán)控）

Li、Be、B、Na、Mg、Al、Si、P、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Cu（三大敏感雜質(zhì)）、Zn、Ga、Ge、As、Se、Zr、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、Ba、W、Pt、Au、Hg、Tl、Pb、Bi、Th、U

5N 高純鎳限值：?jiǎn)卧亍? ppm，總雜質(zhì)≤10 ppm；Co、Fe、Cu≤0.5 ppm

3. 非金屬 / 氣體雜質(zhì)（靶材核心，單獨(dú)儀器）

碳 C、硫 S（紅外碳硫儀）

氧 O、氮 N、氫 H（惰性熔融紅外 / 熱導(dǎo)）

氯 Cl、氟 F、溴 Br、碘 I（離子色譜 / 高溫水解）

4. 物理性能（靶材 / 粉末按需加測(cè)）

塊狀 / 靶材：密度、維氏硬度、電阻率、晶粒度、表面粗糙度、氧化層厚度

鎳粉：粒徑分布、松裝 / 振實(shí)密度、流動(dòng)性、比表面積、SEM 形貌

5. 微觀與缺陷

夾雜物尺寸、晶粒均勻性、表面潔凈度、鍍層氧化雜質(zhì)

二、高純鎂檢測(cè)（高純鎂錠、鎂靶、鎂蒸鍍材料，標(biāo)準(zhǔn) GB/T 13748.24 GDMS 法）

1. 主純度計(jì)算

2. 
   

Mg 總含量扣除所有金屬、氣體雜質(zhì)總和

2. 金屬雜質(zhì)全套（GDMS/ICP-MS）

Li、Be、B、Na、Al、Si、P、K、Ca、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Sr、Y、Zr、Mo、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Ba、Pb、Bi、U、Th

高純鎂典型嚴(yán)控雜質(zhì)：Fe、Si、Cu、Ni（影響耐蝕、鍍膜均勻性）

3. 氣體非金屬雜質(zhì)（鎂極易吸氧，必檢）

O 氧、N 氮、H 氫（熔融法，超高純鎂 O≤5 ppm）

C 碳、S 硫

鹵族：Cl?、F?

4. 專項(xiàng)物理檢測(cè)

鎂錠：電阻率、力學(xué)拉伸、夾渣含量

：粒度、氧含量、活性、氧化膜厚度

鎂靶：致密度、晶粒取向、表面粗糙度

三、高純硼檢測(cè)（無定形硼粉、晶體硼、半導(dǎo)體摻雜硼，無機(jī)非金屬高純材料）

1. 主含量：?jiǎn)钨|(zhì)硼總含量

2. 
   

酸堿滴定 / ICP 差減法，高純硼≥99.99%（4N）、99.999%（5N）

2. 金屬雜質(zhì)（ICP-MS 為主，硼難導(dǎo)電，一般不用 GDMS）

Li、Na、Mg、Al、Si、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Zr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Pb、Bi

3. 非金屬雜質(zhì)（高純硼核心風(fēng)險(xiǎn)項(xiàng)）

總碳 C、總硫 S

游離氧、晶格氧（氧含量直接影響半導(dǎo)體摻雜良率）

氮 N、氫 H

游離硼氧化物、B?O?含量（水溶性雜質(zhì)，水解法測(cè)試）

氯離子、氟離子、硝酸根、硫酸根陰離子（離子色譜）

4. 粉體專項(xiàng)物理（硼粉常用）

粒徑 D50/D90、比表面積 BET、松裝密度、振實(shí)密度、水分、灼燒失重、SEM 形貌、晶相 XRD（無定形 /晶體硼區(qū)分）