電子級(jí)硅烷氣體99.9999%
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- 13533298058
- 品牌
- 粵佳氣體
- CAS
- 7803-62-5
- 產(chǎn)地
- 深圳、廣州、東莞、中山、惠州、佛山、全國
深圳市粵佳氣體有限公司主營99.9999%（6N）電子級(jí)硅烷氣體，屬于高端電子特種氣源，產(chǎn)品經(jīng)多級(jí)深度提純、精密除雜與純化工藝制備，嚴(yán)格管控水分、氧、金屬雜質(zhì)、顆粒物等微量污染物，氣體組分均勻、純度穩(wěn)定、潔凈度極高，完全契合半導(dǎo)體、光電行業(yè)高端制程用氣標(biāo)準(zhǔn)，可滿足精密制造的嚴(yán)苛工藝要求。
硅烷氣體是微電子產(chǎn)業(yè)核心前驅(qū)氣源，具備成膜性好、純度高、雜質(zhì)極低、工藝可控性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓薄膜沉積、多晶硅與氮化硅膜制備、芯片外延制程、CVD化學(xué)氣相沉積工藝，同時(shí)適配光伏電池鍍膜、高端顯示面板制造、新型電子材料研發(fā)等領(lǐng)域，能夠有效保障器件成膜均勻性與穩(wěn)定性，提升產(chǎn)品良率與制程精度。
公司配備深圳龍華、深圳寶安兩大標(biāo)準(zhǔn)化特種氣體生產(chǎn)充裝工廠，建立了完善的電子級(jí)氣體精制、密閉充裝、精密檢測全流程質(zhì)控體系，全程規(guī)范化管控生產(chǎn)與質(zhì)檢環(huán)節(jié)，穩(wěn)定保障6N電子級(jí)硅烷氣體的高品質(zhì)輸出。依托雙廠區(qū)區(qū)位與產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)，可快速覆蓋深圳及周邊區(qū)域，為客戶提供穩(wěn)定供貨、高效配送、特種用氣技術(shù)指導(dǎo)等一站式服務(wù)，為高端電子、半導(dǎo)體及新能源產(chǎn)業(yè)提供可靠的長期氣源保障。
| 組分/雜質(zhì) | 硅烷/6.0N |
| 硅烷含量 | 99.9999% |
| 氧（氬）O2（Ar） | ≤0.1ppm |
| 氮?dú)釴2 | ≤0.1ppm |
| 氫氣H2 | ≤20ppm |
| 氦氣He | ≤10ppm |
| 一氧化碳+二氧化碳 | ≤0.1ppm |
| 總碳THC | ≤0.1ppm |
| 氯化物THCI | ≤0.1ppm |
| 甲硅醚 | ≤0.1ppm |
| 乙硅烷Si2H6 | ≤0.1ppm |
| 水分H2O | ≤0.1ppm |
| 包裝種類 | 氣體壓力 | 氣體體積 | 氣體凈重 |
| 44LDOT鋼瓶 | 12MPa | 7或10.5m3 | 10或15kg |
| 440L硅烷Y罐 | 12MPa | 88m3 | 125kg |
氧氣,氮?dú)?氬氣,氦氣,二氧化碳,甲烷,乙炔,混合氣體
一般經(jīng)營項(xiàng)目是：溫室氣體排放控制技術(shù)研發(fā)；閥門和旋塞銷售；金屬切割及焊接設(shè)備銷售。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng)），許可經(jīng)營項(xiàng)目是：無
粵佳氣體集團(tuán)是國內(nèi)大型的綜合性氣體廠家，公司始創(chuàng)于1993年，并于2012年成立粵佳氣體集團(tuán)，總部位于廣東省廣州市增城區(qū)。深圳市粵佳氣體有限公司作為集團(tuán)旗下核心全資子公司，企業(yè)扎根華南氣體領(lǐng)域多年，打造出集氣體研發(fā)、生產(chǎn)、提純、充裝、銷售、配送為一體的全產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)模式。為保障區(qū)域供貨效率，公司于深圳龍華、寶安建成兩座標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)基地，雙廠協(xié)同運(yùn)作，構(gòu)建起覆蓋深圳、輻射整個(gè)粵港澳大灣區(qū)的生產(chǎn)、倉儲(chǔ)、配送網(wǎng)絡(luò)。公司團(tuán)隊(duì)架構(gòu)完善，擁有專業(yè)技術(shù)研...