產(chǎn)品概述

塞維歐SEIVIO VaculubB042 潔凈室真空潤滑脂采用蒸汽壓較低的直線分子結(jié)構(gòu)的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是專為高潔凈度無塵室+ 高 / 超高真空環(huán)境設(shè)計(jì)的特種潤滑脂，核心使命是：潤滑同時(shí)，不產(chǎn)生可揮發(fā)氣體（Outgassing）、不釋放微米 /納米級(jí)顆粒、不污染精密表面（晶圓、光學(xué)鏡片、傳感器），滿足 Class 1~Class 100 級(jí)潔凈室與 10??~10?1? Pa超高真空工況要求。

產(chǎn)品特性

+ 極低揮發(fā)性/ 極低蒸氣壓（核心）

真空下不揮發(fā)、不逸出小分子，避免油霧、冷凝膜污染光學(xué)/ 半導(dǎo)體元件；飽和蒸氣壓通?！?0??Pa（室溫），滿足超高真空（UHV）要求；

+杜絕釋氣（Outgassing）導(dǎo)致的真空度下降、鍍膜缺陷、鏡片“起霧”；

+極低發(fā)塵 / 低顆粒釋放

配方超純、無雜質(zhì)、無金屬離子；運(yùn)動(dòng)剪切時(shí)不產(chǎn)生固體碎屑、磨粒，控制顆粒尺寸＜0.1μm，符合ISO 14644 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)；

+高化學(xué) / 熱穩(wěn)定性、惰性

耐酸堿、耐強(qiáng)氧化劑、耐等離子體 /輻射，不與半導(dǎo)體工藝氣體、清洗劑、密封材料（氟橡膠、PTFE）反應(yīng)；寬溫（-70℃~280℃）下不分解、不硬化、不流失。

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于典型應(yīng)用場(chǎng)景（半導(dǎo)體核心設(shè)備）

· 半導(dǎo)體：光刻機(jī)、晶圓傳輸機(jī)器人、真空腔體、線性導(dǎo)軌 / 絲杠、真空閥門、機(jī)械手關(guān)節(jié)。

· 真空設(shè)備：電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空鍍膜機(jī)、離子注入機(jī)、超高真空系統(tǒng)。

· 光學(xué) / 精密：激光設(shè)備、光學(xué)鏡頭、精密位移平臺(tái)、醫(yī)療手術(shù)機(jī)器人、生物實(shí)驗(yàn)室潔凈設(shè)備。

包裝規(guī)格

1kg/罐裝      訂貨號(hào)147802

儲(chǔ)存運(yùn)輸

應(yīng)在常溫、陰涼、避光處保存，禁止在陽光下直曬，以免油脂分離及分解。在原包裝中保質(zhì)期可達(dá)36個(gè)月。

使用建議

薄涂原則： 只需要在表面形成一層連續(xù)的薄膜即可。過量的油脂可能會(huì)被吸入真空泵造成污染，或流進(jìn)反應(yīng)瓶影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

徹底清潔： 在更換或重新涂抹前，必須用異丙基醇、己烷或?qū)Ｓ们逑磩⑴f的殘余油脂及吸附的灰塵徹底清除。

關(guān)于塞維歐?SEIVIO

作為比瑟奴潤滑科技?在中國的子品牌，塞維歐致力于為客戶提供高品質(zhì)的潔凈室真空潤滑脂應(yīng)用解決方案、專業(yè)的技術(shù)支持與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。聯(lián)系我們，了解更多產(chǎn)品信息！