MEMS數(shù)字輸出三軸加速度傳感器
一、 簡(jiǎn)介
FH1301D三軸數(shù)字加速度計(jì)是有我公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用高精度、低噪聲MEMS芯片，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性特點(diǎn)，自檢測(cè)（Self-Test）功能。
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、 原理
FH1301D三軸數(shù)字加速度計(jì)是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度 感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
三、 性能指標(biāo)
FH1301D技術(shù)參數(shù) | |
X、Y、Z軸（g）測(cè)量范圍 | ±2 (±4±8±10±20±40)可選 |
頻響（Hz） | 3250 |
零偏（mg） | <2 |
零偏穩(wěn)定性（mg） | <2 |
零偏重復(fù)性（mg） | <2 |
非線性度（％ F.S） | <0. 1 |
輸岀接口 | RS422 |
數(shù)據(jù)更新率（可設(shè)） | 500hz@460800(高 1000hz) |
供電要求 | |
供電電壓（VDC） | 9-12 |
輸入電流（mA） | <20 |
工作環(huán)境 | |
使用溫度（°C） | -40 to +80 |
耐加速度0.1ms | 5000g |
重量、體積
| |
重量（g） | <50 |
尺寸（mm） | 26*26*13.2 |
四、通訊協(xié)議
接口形式：RS422
數(shù)據(jù)格式：1個(gè)起始位，8個(gè)數(shù)據(jù)位，無校驗(yàn)，1個(gè)停止位，高在前,低在后。波特率：460800bps（出廠默認(rèn)）數(shù)據(jù)輸出頻率：500Hz（出廠默認(rèn)）
MEMS加速度傳感器 , 數(shù)字輸出加速度計(jì) , 三軸加速度傳感器 , MEMS三軸加速度計(jì) , 加速度傳感器
IEPE/MEMS加速度傳感器，氣壓高度計(jì)，大氣數(shù)據(jù)機(jī)，雷達(dá)高度計(jì)，無線電高度表，雷達(dá)高度表，大氣數(shù)據(jù)機(jī)，雷達(dá)模擬器。
公司成立于2016年，注冊(cè)資金200萬元，公司總部位于古城西安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳城二路22號(hào)。是一家集產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、代理銷售為一體的高科技公司。 公司主要業(yè)務(wù)有： 設(shè)計(jì)、開發(fā)和生產(chǎn)振動(dòng)、沖擊加速度/速度/力/壓力/溫度/流量/傾角等傳感器及相關(guān)信號(hào)調(diào)理器、動(dòng)態(tài)信號(hào)數(shù)據(jù)測(cè)試與采集、動(dòng)態(tài)信號(hào)分析與模態(tài)測(cè)試儀器儀表及小型振動(dòng)臺(tái)、激勵(lì)系統(tǒng)等產(chǎn)品； 設(shè)計(jì)、開發(fā)和生產(chǎn)毫米波雷達(dá)、無線電高度表（雷達(dá)高度計(jì)）、反無人機(jī)雷達(dá)、雷達(dá)模擬器、雷...