海德漢 LIC4100 敞開式光柵尺 ML370mm潔凈室專用光柵，超潔凈設計無粉塵脫落，高精度、高穩(wěn)定性，適應真空與潔凈室工況。非接觸式測量不影響機構運動，分辨率極高、定位精準，是半導體制造與面板檢測設備核心測量部件。

海德漢 LIC4100 敞開式光柵尺 ML420mm光學檢測儀器光柵，高精度無磨損、壽命長久，適用于光學尺寸測量、輪廓儀、高度儀等設備。安裝靈活、適應性強，測量響應快、線性度好，可實現(xiàn)連續(xù)高精度位移采集，提升檢測設備精度與重復性。

海德漢 LIC3100 式光柵尺 ML470mm三坐標專用光柵，大行程高精度測量，開機無需回零，測量穩(wěn)定、線性度優(yōu)異。抗環(huán)境干擾能力強，適合三座標、影像儀、高精度測量設備，保證測量結果精準可靠、重復性高。

海德漢 LIC3100 式光柵尺 ML520mm精密平臺光柵，超高分辨率滿足納米級定位需求，非接觸結構無運行阻力，適用于精密位移臺、光學調整架、自動化檢測平臺。動態(tài)性能好、定位平穩(wěn)，是高端精密設備標配測量元件。

海德漢 LIC3100 式光柵尺 ML570mm光學儀器傳感器，精度高、穩(wěn)定性強、溫度漂移小，適用于顯微鏡、光譜儀、精密位移調整機構。測量準確、響應迅速，體積小巧不占空間，長期使用精度不衰減。

海德漢 LIP401 超高精度光柵尺 ML120mm計量級傳感器，高精度測量，適用于計量室標準器具、精密機床校準、微電子加工設備。柵距極細、分辨率極高，線性度優(yōu)異，非接觸掃描無磨損，保障高等級位移測量精度。

海德漢 LIP401 超高精度光柵尺 ML170mm實驗室標準光柵，滿足國家計量級精度要求，適用于長度基準、校準裝置、檢測標準設備。測量精準度高、穩(wěn)定性極強，溫度特性優(yōu)異，是實驗室高精度位移基準核心部件。