硅片生產(chǎn)中TTV什么意思？

TTV是“totalthickness variation”的縮寫或簡稱，意為總厚度變化，總厚度偏差。
有一種檢測硅片厚度一致性的方法，叫總厚度偏差（TTV），就是指硅片厚度的Zui大值與Zui小值之差。TTV:硅片厚度變化量。一般來講，硅片厚度對硅片本身的品質(zhì)沒有什么影響。硅片中真正起作用的只是硅片表面薄薄的一層，其余的都是起支撐作用。
　　TTV當然越小越好。TTV是衡量硅片品質(zhì)的一個很重要的指標過程控制，鋼線的檢查，圓度是否超標，導輪使用壽命是否到了，工裝夾具是否有問題等等。

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