本設(shè)備適用對充氣環(huán)網(wǎng)柜（以下簡稱工件）進(jìn)行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大于0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，Zui后向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6工作氣體。系統(tǒng)嚴(yán)格按照客戶的要求設(shè)計(jì)制造，采用模塊化的設(shè)計(jì)，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標(biāo)準(zhǔn)化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護(hù)性。設(shè)備應(yīng)適用電力行業(yè)高壓環(huán)網(wǎng)充氣柜的氣密性檢測、SF6充注。應(yīng)具有大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、安全、可靠。

主要配置

主要技術(shù)參數(shù)及要求

1、 真空箱尺寸：長00mm×寬00mm×高00mm

 Zui大充氦氣壓力：0.05Mpa（可調(diào)）

2、 工作節(jié)拍：＜40分鐘/件

3、 箱內(nèi)接口數(shù)量：大件1個工件接口。小件2個工作接口。

4、 氦氣回收率：95%-98%

5、 可檢漏率：≤2.8×10-6Pam3/S

(報(bào)警漏率設(shè)置1×10-7Pam3/S時，應(yīng)可檢出)

6、 保壓檢測時間：（1-600S可調(diào)）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱檢漏真空≤20Pa

9、系統(tǒng)自身漏率：≤10-9 Pam3/s

10、箱門開關(guān)方式：自動

真空箱體加送料車。料車尺寸高度需甲方確認(rèn)。

11、真空箱及送料車承重＞1000Kg

12、設(shè)備校準(zhǔn)：可自動操作外置漏孔校準(zhǔn)

13、真空箱檢測時系統(tǒng)可自動扣除氦本底，使顯示漏率可以表示工件實(shí)際的整體 

    漏率。

14、真空箱檢測時充氮判大漏的同時，完成工件強(qiáng)度測試，（保壓2分鐘）。

15、充氣回收壓力、真空度必須準(zhǔn)確、安全、可靠。

16、必須考慮充回系統(tǒng)中的過濾裝置應(yīng)方便清洗、更換。

17、對氦氣濃度、壓力進(jìn)行監(jiān)控，自動補(bǔ)充氦氣。

18、具有自動清氦功能。

19、具有自動監(jiān)控各部分的運(yùn)行狀態(tài)功能，異常診斷報(bào)警，并停止設(shè)備運(yùn)行的功 

    能。

20、工控管理系統(tǒng)，可完成下列參數(shù)的設(shè)置并實(shí)時打印。

21、有自動、手動兩種操作模式。